羅茨泵

真空設(shè)備的一種.羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。進(jìn)氣口可采用水平或垂直方向（BM(B)12A,BM(B)24A,BI(B)36A）。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。 羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。

北京世博優(yōu)成真空技術(shù)有限公司將國(guó)際真空行業(yè)交流作為主營(yíng)業(yè)務(wù)之一，中日韓、中美、中歐真空行業(yè)交流會(huì)每年一次，中外聯(lián)辦真空技術(shù)培訓(xùn)班每年若干。世博真空愿與您共同開(kāi)啟中國(guó)真空美好未來(lái)。

羅茨泵的工作原理

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。

羅茨泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過(guò)程。在0°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí)，該腔與排氣口相通。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高，引起一部分氣體返沖過(guò)來(lái)。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí)，下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí)，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí)，上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過(guò)程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。

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羅茨泵的真空技術(shù)

由于每個(gè)國(guó)家、地區(qū)使用習(xí)慣不一樣，我們需要進(jìn)行單位換算。

首先，我們應(yīng)該記住這幾個(gè)基本概念：大氣壓是101325Pa，也就是1.01325E5Pa，在真空技術(shù)中，可以認(rèn)為，大氣壓是100000Pa。同時(shí)，1巴（1bar）等于一個(gè)大氣壓，即：1bar=100000Pa。

以下幾個(gè)單位是常用的：

1巴(bar)=1000毫巴（mbar）=1.0E5帕（Pa）=1大氣壓（atm）

1毫巴（mbar）=100帕（Pa）=1百帕（hPa）

1毫米柱 (1mmHg) =1托 (Torr)

1托（Torr）=133帕（Pa）

1千帕(kPa)=1000帕（Pa）

1兆帕（MPa）=1000000帕（Pa）

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