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真空除氣爐、真空存儲柜的使用環(huán)境
使用環(huán)境
① 設(shè)備占地面積約:長2米,寬1.6米(約3.2平米)高1.95米;
② 電源:380 V±38 V,硅片除氣裝置多少錢,50 Hz±0.5 Hz,約15KW(外部電源用戶自備);
③ 工件要求:無油污,無腐蝕性物質(zhì);
④ 環(huán)境溫度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
⑤ 相對濕度: 20%-85%;
⑥ 設(shè)備應(yīng)安裝在通風(fēng)良好的廠房內(nèi)。
真空除氣儲存柜通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)
一種真空除氣存儲柜,包括真空室、真空系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、水冷、柜體等,柜體內(nèi)設(shè)置有一個或多個儲物室,儲物室朝向柜體前端的一端為儲物室的開口端,硅片除氣裝置生產(chǎn)廠家,柜體上設(shè)置有將儲物室的開口端封閉的封蓋,儲物室的內(nèi)部底端設(shè)置有能夠自儲物室的開口端抽出的水平的托板,硅片除氣裝置價格,托板的兩側(cè)與儲物室內(nèi)部相對的兩個側(cè)壁滑動相連,真空除氣爐。
真空除氣儲存柜的加熱系統(tǒng)
1、加熱區(qū)尺寸:定制
2、加熱功率:30-80 KW(實際功率可調(diào))
3、加熱元件:鉬片
4、隔熱組件:鉬 不銹鋼
5、溫度測量:S型熱電偶
6、控溫精度:±1℃
7、升溫速率 :由室溫升至1000℃小于80min(空載)
8、加熱室:采用圓筒形加熱室結(jié)構(gòu)。隔熱屏采用多層鉬結(jié)構(gòu),各層之間采用99剛玉陶瓷,發(fā)熱體為鉬片,鉬片均勻環(huán)繞在隔熱屏周圍,天津硅片除氣裝置,實現(xiàn)良好的溫度均勻性。具有使用壽命長、隔熱保溫性能好、真空放氣量較少。外框使用不銹鋼(310S)板材料,并且焊接多道加強筋以保證不變形。
9、加熱控制:采用PID智能控溫模塊設(shè)計,可編輯30 段升溫曲線,存貯20 組工藝配方,組合PLC等實現(xiàn)超壓、超溫、過流等自動報警保護功能,10寸液晶觸摸屏顯示操作,具有操作方便,功能強大,穩(wěn)定性好等特點。
企業(yè): 北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
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電話: 010-60711868
地址: 北京市昌平區(qū)科技園區(qū)仁和路4號3幢321房間