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由于Parylene涂層材料是在真空下沉積而成,是裂解的分子重新聚合形成的防護(hù)材料,屬分子級(jí)的生長(zhǎng),生成的涂層致密穩(wěn)定、摩擦系數(shù)小,且隨著涂層生長(zhǎng)厚度的增加,摩擦系數(shù)減小。在厚度為0.5μm時(shí),摩擦系數(shù)僅相當(dāng)于硅涂覆層的一半,厚度為2μm時(shí)的摩擦系數(shù),僅相當(dāng)于0.5μm厚涂層摩擦系數(shù)的1 /4。
Parylene 材料有良好的物理和機(jī)械性能,其和常用涂層的物理和機(jī)械性能比較如表 1 所示,潮州真空鍍膜,從表中可以看出,其抗拉強(qiáng)度、線膨脹系數(shù)、硬度數(shù)值等參數(shù)相對(duì)穩(wěn)定,納米真空鍍膜,變化范圍小,塑料真空鍍膜,摩擦系數(shù)較小。
1.派瑞林真空鍍膜是一種在高真空下加熱金屬或非金屬材料,使其在被鍍膜件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面蒸發(fā)凝結(jié)形成薄膜的方法。如真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
2.光學(xué)鍍膜是指在光學(xué)零件表面涂覆一層(或多層)金屬(或電介質(zhì))薄膜的工藝過程。光學(xué)零件表面鍍膜的目的是為了滿足減少或增加光反射、分束、分色、濾光和偏振的要求。常用的涂膜方法有真空涂膜(物理涂膜之一)和化學(xué)涂膜。
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