20世紀(jì)60年代美國聯(lián)合碳化物公司推出了Parylene派瑞林系列新型高分子敷型涂層材料，由于其優(yōu)異的阻隔性能在防潮、防霉、防鹽霧的三防涂層材料領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。派瑞林原料C型、N型、D型、F型、AF4型是派瑞林聚合物的新一代衍生物，包括苯環(huán)取代和亞取代兩類， 氟原子的引入能夠較好地改善薄膜的電學(xué)性能和熱穩(wěn)定性。Parylene系列衍生物的研究主要集中在單體環(huán)二體的合成方法及薄膜的特性研究，有關(guān)薄膜制備方法的報(bào)道較少，曾有采用液態(tài)前驅(qū)體進(jìn)行薄膜制備的文獻(xiàn)報(bào)道。

       超聲波霧化噴涂設(shè)備在傳感器的制造中的可應(yīng)用于噴灑薄膜聚合物、顏料或其他功能性涂層，例如生物測定安全傳感器和應(yīng)用的傳感器，以及用于其它應(yīng)用的多種傳感器，例如，溫度感測，parylene，氣體傳感，化學(xué)檢測，阻抗測量，以及壓力或負(fù)載傳感等等。

       在電子器件的制造中，傳感器噴涂薄膜聚合物和其它化學(xué)物質(zhì)是不可缺少的關(guān)鍵步驟之一，例如現(xiàn)下備受大家歡迎的蘋果手機(jī)，其指紋識別是利用指紋傳感器元件來實(shí)現(xiàn)的，若指紋傳感器元件沒有經(jīng)過噴涂這一功能性涂層，就會導(dǎo)致指紋識別系統(tǒng)工作狀態(tài)不佳不能靈敏識別。在不斷擴(kuò)大的電子市場，人們對于傳感器的制造提出了更高要求，馳飛超聲波對傳感器涂層的噴涂工藝進(jìn)行了優(yōu)化，使得涂層工藝成本下降，涂層超薄且均勻致密。      

       原子層沉積是在一個(gè)加熱反應(yīng)器中的襯底上連續(xù)引入至少兩種氣相前驅(qū)體物種，化學(xué)吸附的過程直至表面飽和時(shí)就自動(dòng)終止，適當(dāng)?shù)倪^程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。

       目前可以沉積的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金屬，碳化物，parylene 耐溫，復(fù)合結(jié)構(gòu)，硫化物，納米薄層等。 中空納米管，隧道勢壘層，光電電池性能的提高，納米孔道尺寸的控制，高高寬比納米圖形，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的反靜態(tài)阻力涂層和疏水涂層的種子層，納米晶體，磁芯parylene涂覆工藝，ZnSe涂層，納米結(jié)構(gòu)，parylene 鍍膜，中空納米碗，存儲硅點(diǎn)涂層，納米顆粒的涂層，納米孔內(nèi)部的涂層，納米線的涂層。

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