首先采用深反應(yīng)離子刻蝕制作微通道，然后沉積派瑞林涂層C在微通道上，同時(shí)派瑞林涂層沉積在純鐵片上，在其上制作金電極，在200℃真空箱內(nèi)將派瑞林涂層鍵合，剝?nèi)ゼ冭F片以及采用特殊工藝釋放（Parylene）涂層微通道。通過(guò)控制（Parylene）涂層沉積的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深寬比的派瑞林涂層微通道，同時(shí)也可以制作多層結(jié)構(gòu)微通道。用此方法制作的各種微通道(所有微通道的內(nèi)徑為80μm寬、50μm深、壁厚為10μm)。通過(guò)此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂層微通道，并通過(guò)釋放工藝可以獲得很好的派瑞林涂層微通道，同時(shí)可以重復(fù)使用硅模，納米真空鍍膜，普遍用于氣相色譜分析等微流體系統(tǒng)分析中。派瑞林涂層阻滯性佳，濕氣及氣體滲透性極低，具高屏障效果，抗酸堿性。

涂層厚度計(jì)一般都需要按照已知的厚度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)。厚度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)資源有很多，較好地確保它們歸屬于一些大型國(guó)家計(jì)量研究院，例如與技術(shù)研究院等國(guó)家測(cè)量機(jī)構(gòu)。

同樣重要的是，五金真空鍍膜，還需要根據(jù)這些標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行定期檢查以驗(yàn)證儀器是否正常運(yùn)行。當(dāng)測(cè)量讀數(shù)不符合儀表的精度規(guī)格時(shí)，儀表必須進(jìn)行調(diào)整或修理，真空鍍膜，然后重新進(jìn)行校準(zhǔn)。

但這種測(cè)量方法只適合作為參考，因?yàn)楣袒ぴ诹鲃?dòng)后可能會(huì)發(fā)生變化，由測(cè)量?jī)x器留下的一些痕跡也可能會(huì)影響到固化薄膜的性能。

       采用壓力控制器方案，控制往真空腔體內(nèi)充入的惰性氣體的壓力以營(yíng)造一個(gè)控制良好的鍍膜環(huán)境。與反應(yīng)腔體直接連接的外置真空計(jì)測(cè)量持續(xù)的過(guò)程壓力，該壓力讀數(shù)通過(guò)模擬信號(hào)傳輸?shù)綁毫刂破鞑@示。

       進(jìn)入腔體內(nèi)的參與反應(yīng)的氣體的流量由質(zhì)量流量控制器控制。因?yàn)樯鲜龅膲毫刂破骺梢詼y(cè)得腔體內(nèi)的壓力、并通過(guò)調(diào)節(jié)非反應(yīng)類氣體的含量實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)過(guò)程壓力，從而使腔體內(nèi)形成利于沉積的鍍膜環(huán)境。

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