真空除氣儲存柜主要參數(shù)

1、爐型結(jié)構(gòu)：臥式與立式，單室與雙室或多室，爐體爐門采用雙層水冷，前開門結(jié)構(gòu)。由爐體、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電控系統(tǒng)組成。

2、極限溫度：1500℃

3、工作區(qū)尺寸：按照用戶需求定制

4、設(shè)備總功率：20-100 KW（含加熱系統(tǒng)、真空機組、制冷機）

5、電源頻率：50Hz

6、電源電壓：三相380 V（±10V）

真空除氣儲存柜的加熱系統(tǒng)

1、加熱區(qū)尺寸：定制

2、加熱功率：30-80 KW（實際功率可調(diào)）

3、加熱元件：鉬片

4、隔熱組件：鉬 不銹鋼

5、溫度測量：S型熱電偶

6、控溫精度：±1℃

7、升溫速率 ：由室溫升至1000℃小于80min（空載）

8、加熱室：采用圓筒形加熱室結(jié)構(gòu)。隔熱屏采用多層鉬結(jié)構(gòu)，各層之間采用99剛玉陶瓷，發(fā)熱體為鉬片，硅片除氣裝置價格，鉬片均勻環(huán)繞在隔熱屏周圍，實現(xiàn)良好的溫度均勻性。具有使用壽命長、隔熱保溫性能好、真空放氣量較少。外框使用不銹鋼（310S）板材料，并且焊接多道加強筋以保證不變形。

9、加熱控制：采用PID智能控溫模塊設(shè)計，硅片除氣裝置哪家好，可編輯30 段升溫曲線，存貯20 組工藝配方，組合PLC等實現(xiàn)超壓、超溫、過流等自動報警保護功能，硅片除氣裝置，10寸液晶觸摸屏顯示操作，硅片除氣裝置生產(chǎn)廠家，具有操作方便，功能強大，穩(wěn)定性好等特點。

高真空除氣爐的特點

科創(chuàng)鼎新公司生產(chǎn)的高真空除氣爐，真空度可高達10-7Pa，可用于半導(dǎo)體硅片的除氣以及紅外芯片、氣密性封裝、航空航天芯片等其他電子產(chǎn)品的封裝。

高真空除氣爐特點：　

①　極限真空度高；

②　控溫精度高；

③　更高的升溫速率；

④　更加智能化；

⑤　可真空去除產(chǎn)品空洞與氣泡；

⑥　降低產(chǎn)品的氧化性；

⑦　提高工藝室的潔凈度。

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