氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20 Pa 時，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的準(zhǔn)確性

注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測，都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔，國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達(dá)到30℃，北京氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家，這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。在此種情況下，氦質(zhì)譜檢漏儀自檢通過了，但是漏率的誤差反而增加了30%；氦質(zhì)譜檢漏儀檢測的結(jié)果怎么能準(zhǔn)確？

氦質(zhì)譜檢漏儀要想使用的好，準(zhǔn)確度高，那就要正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔。

氦質(zhì)譜檢漏儀

吸法

吸法是先向壓力容器裝置中充入一個以上的大氣壓的氦氣或氦氣與其他氣體的混合氣，從壓力容器裝置的外部檢測從漏孔泄漏到外部的氦氣，進(jìn)而發(fā)現(xiàn)漏孔。

吸法（正壓法）檢漏，用純氦檢時，可使用氦氣回收裝置，重復(fù)使用，以降低使用成本?；蚴褂脻舛炔坏陀?~10%的氦氣混合氣體，使用完后，可直接向大氣中排放，要注意周圍環(huán)境中的氦氣的濃度，注意周圍環(huán)境中空氣的流動情況，因為這會影響到吸法的檢測精度。吸法（正壓法）檢漏與鹵素檢漏極為相似，小型氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家，但應(yīng)注意的是容器內(nèi)所充的示蹤氣體是不同的，即使有相同的漏率值，其意義也是不同的，能夠區(qū)分這一點很重要。除實驗測試比較法以外另有計算式Q1η1= Q2η2（Q為氣體的泄漏流量，η為氣體的粘度系數(shù)），Q1M11/2= Q2M21/2（M為氣體的分子量）。吸法檢漏中應(yīng)注意以下幾個問題：

1、靈敏度受連接管道的流導(dǎo)的限制。

2、初次檢漏時、被檢件體內(nèi)切勿充入過高壓力的氦氣。因為如果有漏孔，氦氣會從被檢件物中漏出，造成較大浪費，而且氦氣到處擴(kuò)散，給檢漏儀帶來非常大的干擾。因此，一般應(yīng)先向被檢件物內(nèi)充以低壓力、低濃度的氦氣，再充入高壓力，高濃度的氦氣，對小漏孔進(jìn)行檢漏。如果存在較大漏孔時，真空氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家，可對檢件體行加壓水中發(fā)泡法檢大漏，這樣既可以減少氦氣的浪費，因為氦氣較貴（不同濃度的價格也不同），又可避免對氦檢漏儀的氦的損害。

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