派瑞林(Parylene)中文名為聚對(duì)二,是一種高分子熱可塑性聚合體,由單體對(duì)二在真空狀態(tài)下均勻分布在被涂裝物的縫隙和表層然后聚合。運(yùn)用氣相沉積的處理技術(shù),可以于物體表面均勻涂覆形成膜厚,是一種保護(hù)性高分子材料。派瑞林(Parylene)它可在真空下氣相沉積,派瑞林(Parylene)活性分子的良好穿透力能在元件內(nèi)部、底部,音響板派瑞林鍍膜處理,周圍形成無(wú),厚度均勻的透明絕緣涂層,給元件提供一個(gè)完整的防護(hù)涂層,抵御酸堿、鹽霧、霉菌及各種腐蝕性氣件的侵害,這種室溫沉積制備的0.1~100μm薄膜涂層,厚度均勻、致密無(wú)、透明無(wú)應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性,是當(dāng)代有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。
原子層沉積(ALD)是一種沉積原子級(jí)薄膜的技術(shù),它是以一種連續(xù)脈沖的方式在樣品表面和反應(yīng)前驅(qū)體材料之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。與傳統(tǒng)的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)相比,音響板派瑞林鍍膜加工廠,沉積速率相對(duì)較慢,但是它可在高深寬比的溝槽和通孔結(jié)構(gòu)上沉積均勻薄膜。另外,在原子層沉積過(guò)程中,樣品表面上沒(méi)有物理和電學(xué)損傷,而在PECVD過(guò)程中由于離子轟擊這種損傷卻不可避免。此外,通過(guò)使用不同的反應(yīng)材料可沉積各種薄膜(氧化物,氟化物,氮化物,金屬等)。
普通真空鍍膜時(shí),在工件表面與鍍層之間幾乎沒(méi)有連接的過(guò)渡層,云浮音響板派瑞林鍍膜,好似截然分開(kāi)。而離子鍍時(shí),離子高速轟擊工件時(shí),能夠穿透工件表面,形成一種注入基體很深的擴(kuò)散層,離子鍍的界面擴(kuò)散深度可達(dá)四至五微米,對(duì)離子鍍后的試件作拉伸試驗(yàn)表明,音響板派瑞林鍍膜涂層,一直拉到快要斷裂時(shí),鍍層仍隨基體金屬一起塑性延伸,無(wú)起皮或剝落現(xiàn)象發(fā)生,可見(jiàn)附著多么牢固,膜層均勻,致密。
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