MEMS

MEMS振鏡用于激光雷達(dá)系統(tǒng)，需要具備大孔徑以滿足激光雷達(dá)分辨力等需求。靜電驅(qū)動(dòng)7mm直徑尺寸的雙軸可偏轉(zhuǎn)MEMS振鏡，采用簡(jiǎn)單易行的飛行時(shí)間（time of flight，TOF）的測(cè)距方法，測(cè)量了距離0.5m至80m的目標(biāo)，視場(chǎng)角30°，船舶尺度檢測(cè)混合固態(tài)激光雷達(dá)哪家好，掃描頻率550Hz。如圖5所示，為進(jìn)一步提高LiDAR光學(xué)口徑，采用2×7的微振鏡陣列，等效綜合口徑334mm，填充因子80%，其中發(fā)射端信號(hào)是一維掃描的強(qiáng)度調(diào)制連續(xù)波，接收端是大孔徑的振鏡組，掃描角度60°，掃描頻率250Hz。單個(gè)微振鏡可以做到20mm的直徑尺寸，實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證在兩個(gè)軸上均可以達(dá)到7.2°的光束掃描角度，廣東船舶尺度檢測(cè)混合固態(tài)激光雷達(dá)，壓電驅(qū)動(dòng)MEMS的諧振頻率在1kHz左右，100W的激光能量沒有對(duì)MEMS鏡面產(chǎn)生破壞。

激光雷達(dá)

激光雷達(dá)，船舶尺度檢測(cè)混合固態(tài)激光雷達(dá)多少錢，是以發(fā)射激光束探測(cè)目標(biāo)的位置、速度等特征量的雷達(dá)系統(tǒng)。其工作原理是向目標(biāo)發(fā)射探測(cè)信號(hào)(激光束)，然后將接收到的從目標(biāo)反射回來的信號(hào)(目標(biāo)回波)與發(fā)射信號(hào)進(jìn)行比較，作適當(dāng)處理后，就可獲得目標(biāo)的有關(guān)信息，如目標(biāo)距離、方位、高度、速度、姿態(tài)、甚至形狀等參數(shù)，從而對(duì)飛機(jī)等目標(biāo)進(jìn)行探測(cè)、跟蹤和識(shí)別。它由激光發(fā)射機(jī)、光學(xué)接收機(jī)、轉(zhuǎn)臺(tái)和信息處理系統(tǒng)等組成，激光器將電脈沖變成光脈沖發(fā)射出去，光接收機(jī)再把從目標(biāo)反射回來的光脈沖還原成電脈沖，送到顯示器。

激光雷達(dá)是以發(fā)射激光束探測(cè)目標(biāo)的位置、速度等特征量的雷達(dá)系統(tǒng)。其工作原理是向目標(biāo)發(fā)射探測(cè)信號(hào)(激光束)然后將接收到的從目標(biāo)反射回來的信號(hào)(目標(biāo)回波)與發(fā)射信號(hào)進(jìn)行比較，作適當(dāng)處理后，就可獲得目標(biāo)的有關(guān)信息，如目標(biāo)距離、方位、高度、速度、姿態(tài)、甚至形狀等參數(shù)，從而對(duì)目標(biāo)進(jìn)行探測(cè)、跟蹤和識(shí)別。當(dāng)前，隨著市場(chǎng)應(yīng)用的不斷加大，船舶尺度檢測(cè)混合固態(tài)激光雷達(dá)價(jià)格，對(duì)于AGV的要求也越來越高，傳統(tǒng)的導(dǎo)航方式已經(jīng)難以滿足大眾需求，因此激光雷達(dá)導(dǎo)航技術(shù)在AGV應(yīng)用興起。

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