若能實施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的?？刂茪饬骺煞乐刮⒘Ｗ永鄯e，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。

    除了人員進出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進出用潔凈室為潔凈室等級1000或10，000級房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時必須穿著清潔衣服，無塵室設(shè)備搬遷公司電話，所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或化學品，以增強去污能力，由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。

     若能實施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

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