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PVD是物理氣相沉積的簡(jiǎn)稱,是指在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離,利用電場(chǎng)的加速作用,使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上真空鍍膜。利用物理過(guò)程實(shí)現(xiàn)物質(zhì)轉(zhuǎn)移,表面納米涂層,在工件表面形成具有特殊性能的金屬或化合物涂層,其特殊性能包括強(qiáng)度高、耐磨性、散熱性、耐腐性、以及絕緣等。涂層的物質(zhì)源是固態(tài)物質(zhì),納米涂層公司,利用氣體放電或加熱的方式使靶材蒸發(fā)或者電離,經(jīng)過(guò)“蒸發(fā)或者濺射”后,在電場(chǎng)的作用下,在工件表面生成與基材性能不同的固態(tài)物質(zhì)涂層。
在日常的操作中,有些用戶由于其操作不當(dāng)導(dǎo)致鍍膜效果欠佳的問(wèn)題,在PVD真空鍍膜過(guò)程中,鍍膜機(jī)腔體內(nèi)的壓力波動(dòng)將導(dǎo)致鍍膜不均勻以及重復(fù)性欠佳。質(zhì)量流量控制器控制反應(yīng)氣體的同時(shí),采用壓力控制器控制腔體內(nèi)惰性氣體的壓力,從而提升終等離子氣相沉積(PVD)的結(jié)果。
派瑞林(PARYLENE)真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個(gè)重要方面。它以真空技術(shù)為基礎(chǔ),采用物理或化學(xué)方法,吸收了電子束、分子束、離子束、等離子體束、射頻和磁控等一系列新技術(shù),為科學(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)提供了一種新的薄膜制備工藝。簡(jiǎn)而言之,金屬、合金或化合物在真空中蒸發(fā)或?yàn)R射,從而可以沉積在被涂覆的物體(稱為基底、襯底或基體)上
光學(xué)鍍膜技術(shù)常用的方法是真空濺射鍍膜玻璃基片,一般用來(lái)控制基片對(duì)入射光束的反射率和透過(guò)率,以滿足不同的需要。為了消除光學(xué)零件表面的反射損耗,提高成像質(zhì)量,涂覆一層或多層透明介質(zhì)膜,稱為減反射膜或減反射膜。
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