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除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外,泰州無(wú)塵室設(shè)備,原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過(guò)潔凈程序,無(wú)塵室設(shè)備吊裝搬遷報(bào)價(jià),方不至于影響潔凈室潔凈度。其進(jìn)潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行,但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級(jí)1000或10,000級(jí)房間,工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時(shí)必須穿著清潔衣服,所使用擦拭紙為無(wú)塵紙或不會(huì)脫落纖毛無(wú)塵布,清潔劑除了使用超純水之外,并加入3~5%濃度的IPA或化學(xué)品,以增強(qiáng)去污能力,由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面,無(wú)塵室設(shè)備包裝搬遷怎么收費(fèi),必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過(guò)的不銹鋼板,作為輔助。
無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,無(wú)塵室設(shè)備定位安裝方案,此空間我們稱之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。
無(wú)塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則:
不攜入
在無(wú)塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前,機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理;
進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無(wú)塵室。
機(jī)器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。
無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
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