氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過濾器

使用氣體必須純凈干燥，熱式質(zhì)量控制器多少錢，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過濾器，熱式質(zhì)量控制器，如果流量計(jì)出口接有液體源瓶，熱式質(zhì)量控制器報(bào)價(jià)，應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計(jì)。

2 使用腐蝕性氣體

流量計(jì)通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2)，SUS417J1（00Cr30Mo2）， 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。

3 安裝位置問題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，熱式質(zhì)量控制器價(jià)格，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥， 不是截止閥， 不能當(dāng)截止閥使用， 用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長期工作后， 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi)， 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%， 則應(yīng)進(jìn)行維修。

5 標(biāo)定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定，需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別申明。用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí)，可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。

氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa， 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過，即電磁閥漏氣?？蛻魬?yīng)用MFC時(shí)， 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應(yīng)用場合包括微電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

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