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無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,無(wú)塵室設(shè)備拆卸運(yùn)輸公司,此空間我們稱之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。
若能實(shí)施“不攜入”技術(shù),無(wú)塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng),在廣大的無(wú)塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的??刂茪饬骺煞乐刮⒘W永鄯e,但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無(wú)塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電,無(wú)塵室設(shè)備吊裝搬遷報(bào)價(jià),則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進(jìn)行除電。
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,溫州無(wú)塵室設(shè)備,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,無(wú)塵室設(shè)備搬遷公司電話,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
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