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每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A,無塵室設(shè)備搬遷公司電話,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
無塵室的優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,無塵室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。
無塵室的缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出,易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重啟,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
除了人員進出潔凈室須予以規(guī)范管理外,原材料及設(shè)備進出也必須經(jīng)過潔凈程序,方不至于影響潔凈室潔凈度。其進潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行,但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進出用潔凈室為潔凈室等級1000或10,000級房間,工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時必須穿著清潔衣服,所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布,無塵室設(shè)備吊裝搬遷報價,清潔劑除了使用超純水之外,并加入3~5%濃度的IPA或化學(xué)品,無塵室設(shè)備定位安裝方案,以增強去污能力,由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時為免破壞地板支架及地板表面,浙江無塵室設(shè)備,必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板,作為輔助。
無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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