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逆流氦質(zhì)譜檢漏儀
逆流氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)如圖5所示。該類儀器是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如,多級(jí)油擴(kuò)散泵對(duì)氦氣的壓縮比為102;對(duì)空氣中其它成分的壓縮比為lO4~106。檢漏時(shí),空調(diào)兩器真空氦檢漏設(shè)備多少錢,通過(guò)被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級(jí)部位的氦氣,仍有部分返流到質(zhì)譜室中去,并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號(hào)。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。
氦質(zhì)譜檢漏原理
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無(wú)色、無(wú)味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測(cè)儀器,用于檢漏的一種檢測(cè)技術(shù),它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14~10-15Pa?m3/s,可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機(jī)械泵之間,利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn),氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng),在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性,偏轉(zhuǎn)半徑各不相同,電力開關(guān)真空箱氦檢漏設(shè)備多少錢,在擋板的作用下,氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào),這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量,電流信號(hào)經(jīng)過(guò)放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率,通過(guò)泄漏率大小來(lái)確定該位置泄漏程度的大小。
氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性:
①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環(huán)境中的含量超過(guò)標(biāo)準(zhǔn),可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣;
②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測(cè)也易于清除;
③氦離子荷質(zhì)比小,易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;
④氦氣是惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備;
⑤氦氣無(wú)毒,天津氦檢漏設(shè)備多少錢,不凝結(jié),極難容于水。
今天科創(chuàng)真空小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏的工作原理,希望對(duì)您有所幫助!
氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢(shì)
1、關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購(gòu),保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性;
2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零,保證了檢漏的準(zhǔn)確性、;
3、特有的清氦系統(tǒng),快速有效地清除超標(biāo)的氦本底,保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;
4、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度,保證了工件檢測(cè)的精度;
5、可對(duì)使用過(guò)程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純,極大降低氦氣損耗(功能可選);
6、可同時(shí)檢測(cè)多工件,并能按照需求自動(dòng)判斷出具體的有漏工件;
7、定制的的密封接頭,可靠穩(wěn)定,減少誤判。
8、觸摸屏實(shí)時(shí)顯示監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)和運(yùn)行參數(shù),監(jiān)控一目了然。
9、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能,確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢(shì),希望對(duì)您有所幫助!
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