派瑞林薄膜具有的材料屬性，被FDA認(rèn)可為第VI類高分子材料，它具有更優(yōu)良的生物相容性、低滲透性、化學(xué)惰性和非常低的毒性。組織培養(yǎng)表明：人類細(xì)胞更容易在派瑞林表面生長(zhǎng)。

派瑞林作為涂層通過的制備涂覆于表面，該涂層超薄敷形性好、耐腐蝕、與人體組織及血液良好相容，它不僅提供了惰性、生物相容的隔離層，還可有效的防止外界的化學(xué)品、水分和體液的侵蝕。

       由于Parylene涂層材料是在真空下沉積而成，是裂解的分子重新聚合形成的防護(hù)材料，屬分子級(jí)的生長(zhǎng)，生成的涂層致密穩(wěn)定、摩擦系數(shù)小，且隨著涂層生長(zhǎng)厚度的增加，摩擦系數(shù)減小。在厚度為0.5μm時(shí)，摩擦系數(shù)僅相當(dāng)于硅涂覆層的一半，防塵派瑞林鍍膜廠家，厚度為2μm時(shí)的摩擦系數(shù)，僅相當(dāng)于0.5μm厚涂層摩擦系數(shù)的1 /4。

       Parylene 材料有良好的物理和機(jī)械性能，其和常用涂層的物理和機(jī)械性能比較如表 1 所示，從表中可以看出，其抗拉強(qiáng)度、線膨脹系數(shù)、硬度數(shù)值等參數(shù)相對(duì)穩(wěn)定，變化范圍小，摩擦系數(shù)較小。 

        首先采用深反應(yīng)離子刻蝕制作微通道，然后沉積派瑞林涂層C在微通道上，同時(shí)派瑞林涂層沉積在純鐵片上，在其上制作金電極，在200℃真空箱內(nèi)將派瑞林涂層鍵合，剝?nèi)ゼ冭F片以及采用特殊工藝釋放（Parylene）涂層微通道。通過控制（Parylene）涂層沉積的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深寬比的派瑞林涂層微通道，同時(shí)也可以制作多層結(jié)構(gòu)微通道。用此方法制作的各種微通道(所有微通道的內(nèi)徑為80μm寬、50μm深、壁厚為10μm)。通過此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂層微通道，釹鐵硼派瑞林鹽霧，并通過釋放工藝可以獲得很好的派瑞林涂層微通道，同時(shí)可以重復(fù)使用硅模，派瑞林，普遍用于氣相色譜分析等微流體系統(tǒng)分析中。派瑞林涂層阻滯性佳，濕氣及氣體滲透性極低，具高屏障效果，抗酸堿性。

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