影響超聲清洗的因素

    清洗液的流動速度對超聲清洗效果也有很大影響，是在清洗過程中液體靜止不流動，這時泡的生長和閉·運動能夠充分完成。如果清洗液的流速過快，則有些空化核會被流動的液體帶走有些空化核則在沒有達到生長閉·運動整過程時就離開聲場，晶片清洗，因而使總的空化 強度降低。在實際清洗過程中有時為避免污物重新粘附在清洗件上．清洗液需要不斷流動更新，此時應注意清洗液的流動速度不能過快，以免降低清洗效果。

    清洗液中氣體的含量對超聲波清洗效果也有影響。在清洗液中如果有殘存氣體(非空化核)會增加聲傳播損失，此外在空化泡運動過程中擴散到泡中的氣體，在空化泡崩潰時會降低沖擊波強度而削弱清洗作用。因此有些超聲清洗設備具有除氣功能，在開機時先進行低于 空化閾值的功率水平作振動，晶片清洗臺，以脈沖或間歇方式振動進行除氣．然后功率加到正常清洗的功率水平進行超聲清洗。

    按照清洗機方法的不同，也概略分為物理清洗機與化學清洗機：壟斷力學、聲學、光學，電學、熱學的情理，依靠外來能量的勸化，如機械答辯、超聲波、負壓、低壓．)中擊。紫內(nèi)線、蒸汽等去除物體外表污垢的方法叫物理清洗機；依靠化學反饋的勸化，壟斷化學藥品或此外溶劑革除物體外表污垢的方法叫化學清洗機．如用各種有機或有機酸去除物體外表的銹跡、水垢，用腐蝕劑去除物體外表的污漬，鶴崗晶片，用殺菌劑。消毒劑殺滅微生物并去除霉斑等．物理清洗機與化學清洗機都存在著各自的優(yōu)弊端，又存在很好的互補性。在實際應用過程當中，通常凡是把二者渙散起來應用，以得到更好的清洗機成就。

      硅清洗技術經(jīng)歷了持續(xù)的發(fā)展改進，包括早期用氣相等效物替代在濕化學品中進行的部分清洗操作。難以置信的是，現(xiàn)代先進的Si清洗仍然依賴于大體上同一組化學溶液，不過它們的制備和送至晶圓的方法與期初提出的已大不相同。此外，傳統(tǒng)上用濕清洗化學品做的表面選擇清洗/修整功能現(xiàn)在是在氣相中做的。

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