檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。主要配置：檢漏儀分子泵。機械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內置標準漏口。放大器。質譜模塊。筆者根據實測經驗，兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應，則可進行第二次噴氦。

氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高；所以檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，選購檢漏儀時注意檢漏需求和設備功能的匹配度，不同的產品檢漏操作時所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別，消費者在選購檢漏儀時必須要根據產品的檢測功能需求進行挑選，檢漏儀檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術語，氣密檢漏設備，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。檢漏儀自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。檢漏儀由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

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