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氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用拓展一
例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機,過去是打壓刷肥皂水檢漏,現(xiàn)在重新改進工藝用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏,采用正壓吸與氦罩法結(jié)合,使檢漏靈敏度大大提高,從而保證了發(fā)動機質(zhì)量。火箭箭體的檢漏采用正壓吸、氦罩法、累集法等幾種方法的結(jié)合。由于檢漏技術(shù)的應(yīng)用,電力真空箱測漏設(shè)備,提高了檢漏靈敏度,彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。
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氦質(zhì)譜試漏儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器.其燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩,與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些離子在加速電場作用下進入磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,軌道半徑
R ——離于偏轉(zhuǎn)軌道半徑(cm) B ——磁場強度(T)
M/z ——離子的質(zhì)(量)/(電)荷比(正整數(shù))
U ——離子加速電壓(V)
由上式可知,當(dāng) R、B 為定值時,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
氦質(zhì)譜檢漏儀的進展
經(jīng)過近半個世紀(jì)的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準(zhǔn)氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應(yīng)檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴散檢漏方式,實現(xiàn)了高壓強下檢漏,也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。
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