氫氣檢漏設(shè)備

（1）檢漏儀：采用上述工作原理制造的氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。（2）示蹤氣體充注控制器：對(duì)于批量生產(chǎn)的用戶，好采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對(duì)檢測(cè)管道的充氣和排氣過(guò)程自動(dòng)化控制。

氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮?dú)獾幕旌蠚庾鳛槭聚櫄怏w進(jìn)行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮?dú)獾幕旌蠚怏w是不可燃的（ISO10156），無(wú)毒性和腐蝕性，也不會(huì)對(duì)設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多的優(yōu)點(diǎn)。

真空設(shè)備檢漏

北京科儀真空技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：科儀）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊(cè)資金500萬(wàn)?？苾x產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無(wú)油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過(guò)程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過(guò)測(cè)試端口與檢漏儀相連，

待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過(guò)器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，

氮?dú)夂蜌錃獾幕旌蠚獾挠猛?/strong>

電子器件生產(chǎn)工藝中的應(yīng)用在電子器件生產(chǎn)工藝中，為減少電能消耗，降低成本，都在研發(fā)和使用各種混合氣。其間，以使用氮?dú)浠旌蠚鉃?。用液氫和液氮汽化?lái)取得氮氧混合氣的辦法，因?yàn)檫x用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高。若從大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物取得液氫和液氮，真空箱氦檢漏系統(tǒng)，其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣，因?yàn)橐旱獊?lái)源不同，大多數(shù)質(zhì)量較差，其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外，液氮多來(lái)源于化肥廠，供應(yīng)上較嚴(yán)重，故成本也較高。