潔凈室FFU控制方式潔凈室FFU控制方式之計(jì)算機(jī)控制：此系統(tǒng)與前面兩種方式相比，計(jì)算機(jī)控制方式先進(jìn)的功能，不但可以采用集散型控制方式，能夠很方便的實(shí)現(xiàn)FFU的集中監(jiān)測(cè)和控制，而且還可以方便的實(shí)現(xiàn)FFU的單臺(tái)、多臺(tái)及分區(qū)控制。另外可以設(shè)置控制系統(tǒng)預(yù)留通信接口，可與上位機(jī)或網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行通訊，從而實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程通信和管理功能。

潔凈室怎么才能更節(jié)能的運(yùn)行低截面風(fēng)速設(shè)計(jì)：截面風(fēng)速是空氣通過空氣處理組件中的過濾器或加熱。眾所周知，無塵潔凈室，過濾器是無塵車間比較常見的設(shè)備，因此控制其節(jié)能效果是不可避免的。較大的空氣處理器、較大的過濾器和盤管面積消耗較少的風(fēng)扇能量，因此可以使用較小的風(fēng)扇和電機(jī)。小風(fēng)扇給空氣增加的熱量較少，這降低了冷卻的難度。

潔凈室屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(潔凈室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以潔凈室為集成電路制造必不能少的因素。

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