效果優(yōu)勢：傳統(tǒng)的清洗方法往往是接觸式清洗，對清洗物體表面有機械作用力，損傷物體的表面或者清洗的介質(zhì)附著于被清洗物體的表面，無法去除，產(chǎn)生二次污染，激光清洗的無研磨和非接觸性、無熱效應(yīng)不會破壞基底，使這些問題迎刃而解。

控制優(yōu)勢：激光可以通過光纖傳輸，與機器手和機器人相配合，方便地實現(xiàn)遠(yuǎn)距離操作，能清洗傳統(tǒng)方法不易達到的部位，這在一些危險的場所使用可以確保人員的安全。

激光清洗技術(shù)的國外發(fā)展現(xiàn)狀

激光清洗技術(shù)研究起步于20世紀(jì)80年代中期，但直到20世紀(jì)90年代初期才真正步入工業(yè)生產(chǎn)中，在許多場合逐步取代傳統(tǒng)清洗方法。

國外激光清洗的去污范圍非常廣泛，從厚銹層到激光表面微細(xì)顆粒都可以去除，在去污中涉及激光清洗實驗所使用的設(shè)備種類也比較多，所用激光器的波長范圍廣，但激光清洗技術(shù)的發(fā)展不平衡，激光清洗，有些已實現(xiàn)工業(yè)化，有的還處于實驗室階段。

例如國外在激光模具的清洗方面，已經(jīng)發(fā)展到1000 W激光手動清洗機；

電子線路清洗采用248 nm激光，3 W，20 ns，已經(jīng)工業(yè)化；

在芯片領(lǐng)域，采用248 nm，5 W納秒紫外清洗，效果非常好；

在光掩膜，采用紫外激光，已經(jīng)完全取代傳統(tǒng)化學(xué)方法；

在激光除銹、激光除污染物方面，已經(jīng)規(guī)模化應(yīng)用，而且實驗先于理論。另外在半導(dǎo)體領(lǐng)域、磁頭和絕緣體領(lǐng)域已經(jīng)開始實驗驗證。

合適的激光入射角度使清洗效果事半功倍

當(dāng)激光以一定的傾斜角度入射時，激光直接輻射在粘附顆粒的下方，產(chǎn)生更高的熱彈性應(yīng)力，與垂直入射相比，污染物更容易被清除。此外，研究發(fā)現(xiàn)隨著傾斜角度的增加，激光輻射面積更加寬廣(見圖4)，當(dāng)傾斜的角度為20度時，被清洗區(qū)域的面積約為垂直入射時的10倍，有效地提高了激光清洗的效率。

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