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真空鍍膜機(jī)冷卻系統(tǒng)的原理及監(jiān)控方法
真空鍍膜設(shè)備的金屬罩體通過安裝孔然后以焊接的方式固定在真空鍍膜機(jī)的外壁上,待冷卻的外壁通過加強(qiáng)圓槽形成渠道,這樣確保了冷卻的流通,也避免的死角現(xiàn)象的產(chǎn)生,有效的對鍍膜機(jī)進(jìn)行了快速的降溫,降低了油泵的溫度,加強(qiáng)了冷卻的強(qiáng)度,結(jié)構(gòu)簡單,等有點,在真空鍍膜機(jī)冷卻外殼上包括金屬罩體的原因是數(shù)個排列有序,并且內(nèi)凹的加強(qiáng)圓槽,所述加強(qiáng)圓槽呈半球形或圓錐臺形;在所述加強(qiáng)圓槽底部設(shè)有用連接現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁的安裝孔,所述金屬罩體通過安裝孔并以焊接方式固定在現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁上,在所述金屬罩體與待冷卻外壁之間通過加強(qiáng)圓槽構(gòu)成循環(huán)通道,根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼,其特征在于,在所述金屬罩體上相鄰兩所述加強(qiáng)圓槽的縱橫間距為100-300mm,上述加強(qiáng)圓槽槽深為12_15mm,所述金屬罩體的厚度為2-5_,根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼,其特征在于,所述加強(qiáng)圓槽的大直徑為24-136mm。
真空PVD鍍膜基本步驟
1、前處理工藝:褪膜、噴砂、拋光、鈍化、清洗、裝夾。
2、鍍膜工藝:抽真空、加熱烘烤、漏率測試、轟擊清洗、鍍膜、冷卻出爐。
3、后處理工藝:清洗:確保鍍膜前產(chǎn)品表面的清潔,越新鮮的表面,越能保證鍍膜質(zhì)量。抽真空:將真空室內(nèi)的殘余氣體抽走。加熱烘烤:爐體和工件同時加熱,加速殘余氣體的釋放。壓升率測試:測試爐體的漏氣率和放氣率。轟擊清洗:去除工件表面的雜志,露出新鮮表面。鍍膜:沉積膜層。冷卻:避免工件氧化變色。
什么是真空鍍膜技術(shù)?
所謂真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。
在真空條件下成膜有很多優(yōu)點:可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞,減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學(xué)反應(yīng)(如氧化等),以及減少成膜過程中氣體分子進(jìn)入薄膜中成為雜質(zhì)的量,從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內(nèi)壓力等于或低于10-2Pa,對于蒸發(fā)源與基板距離較遠(yuǎn)和薄膜質(zhì)量要求很高的場合,則要求壓力更低。
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