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對(duì)于大規(guī)模的生產(chǎn)工藝來(lái)說(shuō),建設(shè)的潔凈車間面積大,間數(shù)多,凈化工程公司在建設(shè)些類工程時(shí),要求各車間潔凈程度的差距不宜過(guò)大。應(yīng)嚴(yán)格的進(jìn)行布局、分區(qū)工作,可以通過(guò)送風(fēng)回口的形式來(lái)實(shí)現(xiàn)多元性氣流形式,集中管理。對(duì)于生產(chǎn)工藝單一的企業(yè)來(lái)講,生物凈化工程,各潔凈車間位置分散、獨(dú)立存在,適于改造工程,可實(shí)現(xiàn)不同氣流組織、噪聲控制等,此工程造價(jià)較高。
潔凈車間的建設(shè)應(yīng)根據(jù)企業(yè)新建工程或是改造工程,根據(jù)生產(chǎn)工藝的需求,結(jié)合相關(guān)凈化工程建設(shè)規(guī)范來(lái)確定其潔凈度、溫濕度、氣流形式、噪聲等參數(shù),建立科學(xué)合理的的凈化解決方案,且應(yīng)做到造價(jià)合理、節(jié)能實(shí)用的效果。
從大的方面來(lái)講,生物凈化工程公司,光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分,細(xì)分為以下幾道主要工序:
單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢查-蝕刻(化學(xué)蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋)-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝
從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序,切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例,介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。
只有嚴(yán)守潔凈車間的維護(hù)管理制度才能使產(chǎn)品質(zhì)量有保障。潔凈車間維護(hù)管理制度大致如下:
1、人或物進(jìn)入潔凈車間前必須遵守潔凈車間的管理制度;
2、避免把不必要的物品帶入潔凈工作區(qū)域;
3、人或物要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋,達(dá)到潔凈效果,才能進(jìn)入潔凈車間;
4、減少潔凈車間內(nèi)人員不必要的走動(dòng),以免產(chǎn)生大量塵埃、xi菌等;
5、員工必須在潔凈車間內(nèi)走動(dòng)時(shí),走動(dòng)的速度不能太快,以免造成地面灰塵的二次飛揚(yáng);
6、必須定期清洗潔凈區(qū)域內(nèi)的每一個(gè)角落,檢查機(jī)械設(shè)備的性能,以保證工作效率和保障產(chǎn)品質(zhì)量;
7、潔凈車間的潔凈度應(yīng)定期檢測(cè),一般規(guī)定為3~6月檢測(cè)一次(有條件的客戶可自行購(gòu)買(mǎi)檢測(cè)儀器,生物凈化工程室內(nèi),一周檢測(cè)一次)。
8、定期更換空氣過(guò)濾器等,生物凈化工程設(shè)計(jì),以防止灰塵二次飛揚(yáng),維持潔凈車間正壓。
9、一旦潔凈車間的正壓值降低,相鄰房間的正壓值就會(huì)大于潔凈車間的正壓值,從而導(dǎo)致大量灰塵進(jìn)入潔凈車間,影響潔凈車間的潔凈度。
企業(yè): 無(wú)錫市中翔凈化設(shè)備有限公司
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