7.內(nèi)表面處理

為了進(jìn)一步改善管道材料特性，對管道內(nèi)表面進(jìn)行處理，一般有三種方法：酸洗鈍化（AP），光亮退火（BA）和電解拋光（EP）處理。試驗資料和實踐都證明，通過表面處理后。管道材料的粗糙度減小。出氣速率降低。表面吸附性減弱。

8.管道材料及連接

純度在99.99％以內(nèi)的氣體管道，采用10#或20#無縫鋼管（內(nèi)表面鍍鋅或純化處理）、銅管。鍍鋅管道采用螺紋連接?？傠s質(zhì)含量≤10—100ppm的氣體管道，采用304不銹鋼光亮退火管（304BA）、304不銹鋼管純化處理（304AP）、紫銅管。管道采用焊接連接，可以采用對接焊、承插焊或套管焊接?？傠s質(zhì)含量≤1-1oppm的氣體管道，采用316L不銹鋼光亮退火管（316LBA）、316L不銹鋼電拋光管（304EP）。管道連接采用焊接， 內(nèi)壁無瘢痕的對接焊，高純氣保護(hù)焊?？傠s質(zhì)含量≤lppm的高純氣體管道，必須采用316L不銹鋼電拋光管（3l6LEP）。管道連接采用焊接，氮氣銷售，內(nèi)壁無瘢痕的對接焊，高純氣保護(hù)焊，在的潔凈室內(nèi)進(jìn)行。

氫氣使用要求  

1、新安裝或大修后的氫氣系統(tǒng)必須做耐壓實驗、清洗和氣密實驗，符合有關(guān)的檢驗要求，才能投入使用。 2、氫氣系統(tǒng)檢修或檢驗作業(yè)應(yīng)制定作業(yè)方案及隔離、臵換、通風(fēng)等安全防護(hù)措施，并經(jīng)設(shè)備科、生技科審批。  

3、氫氣系統(tǒng)動火檢修，必須保證系統(tǒng)內(nèi)部和動火區(qū)域氫氣的l高含量不超過0.4%（體積）。

4、氫氣使用區(qū)域應(yīng)通風(fēng)良好，保證空氣中氫氣l高含量不超過1%（體積）。  

5、禁止將氫氣系統(tǒng)內(nèi)的氫氣排放在建筑物內(nèi)部。

6、進(jìn)入氫氣區(qū)域應(yīng)穿防靜電或棉布服裝。  

7、防止明火和其他激發(fā)能源進(jìn)入禁火區(qū)域，禁止使用電爐、電鉆等一切產(chǎn)生明火、高溫的工具和熱物體；不得攜帶火種進(jìn)入禁火區(qū)。  

  高純氮氣主要運用在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫擴(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

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