影響誠(chéng)薄機(jī)誠(chéng)薄硅片平整度的因素有哪些?

在經(jīng)過(guò)減薄加工的硅片厚度公差和平整度是與行星齒輪片的平整性有著必然聯(lián)系的。因?yàn)樾行驱X輪片采用的是球墨鑄鐵加工制成的，相對(duì)行星齒輪片的平整度要求是比較高的，如果行星齒輪本身不夠平整的話，減薄出來(lái)的硅片它的平整性就會(huì)隨之受到影響而變差，同時(shí)厚度公差也會(huì)增大;還有就是在研磨時(shí)一定要確保磨料的流量不變，尤其是減薄前硅片本身的厚度要足夠均勻才可以，如果硅片在高溫?cái)U(kuò)散后出現(xiàn)變形，導(dǎo)致其彎曲，而彎曲程度相對(duì)較大時(shí)，那么在減薄的過(guò)程中是極易破損的，或者出現(xiàn)較大的厚度誤差。因此，減少擴(kuò)散工藝引起硅片變形是提高硅片平整度和減少厚度公差的一個(gè)十分重要的因素。

想要了解更多，趕快撥打圖片上電話吧?。?！

立式減薄機(jī)IVG-200S

設(shè)備概述：

名稱: 立式減薄機(jī)

型號(hào): IVG-200S

該設(shè)備采用立式主軸結(jié)構(gòu)，工作時(shí)磨盤與工件盤同時(shí)旋轉(zhuǎn)，磨盤的進(jìn)給采用微米步進(jìn)電機(jī)進(jìn)給系統(tǒng)，磨盤采用杯式金剛石磨盤，不但加工精度高，而且加工效率很高，韓國(guó)減薄砂輪多少錢，為普通研磨效率的10倍以上。該系列設(shè)備廣泛應(yīng)用各類半導(dǎo)體晶片、壓電晶體、光學(xué)玻璃、陶瓷、藍(lán)寶石襯底、FDD表面、電子過(guò)濾器、碳化硅等材料的超精密平面加工。

立式減薄機(jī)IVG-200S設(shè)備規(guī)格

設(shè)備規(guī)格：

1）磨盤主軸系統(tǒng)

A） 類型：滾子軸承

B） 電機(jī)：AC 伺服電機(jī)(3.0kW)

C） 砂輪規(guī)格：Ф200mm

2) 工件盤主軸系統(tǒng)

A)     類型：滾子軸承

B)     電機(jī)：齒輪電機(jī)（0.75kW）

3) 進(jìn)給系統(tǒng)

A)     類型：Combination of Ball Serve and LM Guide

B)     電機(jī)：微步進(jìn)給電機(jī)

C)     控制：0.1μm Control by Linear Scale Feedback

4) 控制系統(tǒng)（PLC）

A)     制造商：Parker Hannifin Co.

B)     控制器：SX Indexer/Drive

C)     顯示系統(tǒng)：EASON 900

5) 輔助設(shè)備

A)     電源：220V，50Hz，3相，5kW

B)     氣壓：5.5-6kgf/cm2  (0.55-0.6Mpa)

C)     離心分離機(jī)：Sludge Free(SF100)(選配件)

D)     水箱容量：200L

E)     冷凝器：0.5kw

F)     過(guò)濾裝置：20μm，10μm Cartridge Filter

6) 尺寸及重量

設(shè)備尺寸：1，100(W) x 950(D) x 1，976(H)  

設(shè)備重量：1，400kg  

韓國(guó)減薄砂輪多少錢-凱碩恒盛公司由北京凱碩恒盛科技有限公司提供。行路致遠(yuǎn)，砥礪前行。北京凱碩恒盛科技有限公司致力成為與您共贏、共生、共同前行的戰(zhàn)略伙伴，更矢志成為機(jī)械加工具有競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)，與您一起飛躍，共同成功!同時(shí)本公司還是從事內(nèi)圓磨床，球籠窗口磨床，CAGE磨床的廠家，歡迎來(lái)電咨詢。