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真空泵的齒側(cè)密封即氣腔之間的密封和與大氣隔絕的密封,通常齒側(cè)密封被認為是決定渦旋泵抽氣性能的主要因素之一,對于齒側(cè)密封,常通過修正渦圈壁厚,選擇運行間隙,使泵在達到工作溫度時嚙合間隙較小,以此達到密封的目的,它也是保證泵的極限真空度的必要條件。
由于動、靜渦旋盤工作時會產(chǎn)生熱變形,射流真空泵工廠,而且變形量不同,其較小轉(zhuǎn)動間隙會隨工況而變化,間隙過大,會導(dǎo)致一個極限真空度難以達到,射流真空泵,間隙過小,渦旋盤之間會發(fā)生摩擦甚至咬合,導(dǎo)致溫度急劇上升,破壞渦旋盤壁面,導(dǎo)致泵的咬死失效,射流真空泵訂購,所以間隙大小的確定對設(shè)計者是一個挑戰(zhàn)。齒頂密封和齒側(cè)密封是渦旋泵性能的保證。射流真空泵
真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是經(jīng)過一對高精度齒輪來完成其相對同步工作的。主動軸經(jīng)過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動構(gòu)造安置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)。
從動轉(zhuǎn)子由電動機端齒輪直接傳過去股動,這么主動轉(zhuǎn)子軸的改動變形小,則兩個轉(zhuǎn)子之間的空隙不會因主動軸的改動變形大而改動,故使轉(zhuǎn)子之間的空隙在工作過程中均勻。射流真空泵
真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。
對氫有很高的抽速,但不能抽氦,射流真空泵定做,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。射流真空泵
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