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減薄機(jī)設(shè)備組成
北京凱碩恒盛科技有限公司主營(yíng)項(xiàng)目:雙面研磨機(jī),內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機(jī)報(bào)價(jià),減薄機(jī),軸承磨加設(shè)備,汽車零部件磨床,砂輪,減薄機(jī),刀具等。
減薄機(jī)本設(shè)備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍(lán)寶石、其他半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤,吸盤主軸及驅(qū)動(dòng)器組件,砂輪,砂輪主軸及驅(qū)動(dòng)組件,絲桿導(dǎo)軌進(jìn)給組件及其他輔助配件構(gòu)成。
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立式減薄機(jī)IVG-200S設(shè)備規(guī)格
設(shè)備規(guī)格:
1)磨盤主軸系統(tǒng)
A) 類型:滾子軸承
B) 電機(jī):AC 伺服電機(jī)(3.0kW)
C) 砂輪規(guī)格:Ф200mm
2) 工件盤主軸系統(tǒng)
A) 類型:滾子軸承
B) 電機(jī):齒輪電機(jī)(0.75kW)
3) 進(jìn)給系統(tǒng)
A) 類型:Combination of Ball Serve and LM Guide
B) 電機(jī):微步進(jìn)給電機(jī)
C) 控制:0.1μm Control by Linear Scale Feedback
4) 控制系統(tǒng)(PLC)
A) 制造商:Parker Hannifin Co.
B) 控制器:SX Indexer/Drive
C) 顯示系統(tǒng):EASON 900
5) 輔助設(shè)備
A) 電源:220V,50Hz,3相,5kW
B) 氣壓:5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6Mpa)
C) 離心分離機(jī):Sludge Free(SF100)(選配件)
D) 水箱容量:200L
E) 冷凝器:0.5kw
F) 過濾裝置:20μm,減薄機(jī)生產(chǎn)商,10μm Cartridge Filter
6) 尺寸及重量
設(shè)備尺寸:1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)
設(shè)備重量:1,400kg
減薄機(jī)主要特點(diǎn)
減薄機(jī)主要特點(diǎn):
1、吸盤根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤大小可根據(jù)客戶需求定制,直徑320-600mm。。
2、砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。
3、砂輪進(jìn)給模式分三段設(shè)置,減薄機(jī)價(jià)格,能更方便地設(shè)置有效的減薄方案,提高減薄后的精密度和表面效果,
4、對(duì)刀方式在不改變砂輪和吸盤的情況下,針對(duì)不同厚度的工件只需要一次對(duì)刀就可以連續(xù)工作,不需要每次都要對(duì)刀。
5、本機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動(dòng)方式是伺服驅(qū)動(dòng),可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速,也就是砂輪的進(jìn)刀速度,速度0.001-5mm/min可調(diào),控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測(cè)。
6、本機(jī)采用先進(jìn)的臺(tái)灣品牌PLC和觸摸屏,自動(dòng)化程度高,實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話,操作簡(jiǎn)單一目了然。
7、設(shè)備可檢測(cè)磨削扭力、自動(dòng)調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損,自動(dòng)補(bǔ)償砂輪磨損厚度尺寸,可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
8.減薄,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘磨削速度高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度高可減薄250微米。
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