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硅烷已成為半導體微電子工藝中使用的的特種氣體, 用于各種微電子薄膜制備, 包括單晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。
硅烷的微電子應用還在向縱深發(fā)展: 低溫外延、選擇外延、異質(zhì)外延。不僅用于硅器件和硅集成電路,也用于化合物半導體器件(碳化硅等)。在超晶格阱材料制備中也有應用??梢哉f現(xiàn)代幾乎所有先進的集成電路的生產(chǎn)線都需用到硅烷。硅烷的純度對器件性能和成品率關系極大,更高的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。
硅烷偶聯(lián)劑的用量是根據(jù)粉體的比表面積所占的反活性點(如Si-OH)的數(shù)量以及硅烷偶聯(lián)劑覆蓋表面的單分子層、多分子層的厚度等決定的。
一般硅微粉類礦物粉體的Si-OH含量為4-12個μm2,1mol的硅烷偶聯(lián)劑可以覆蓋約7500m2的粉體表面積。由于硅烷偶聯(lián)劑水解后,其硅烷偶聯(lián)劑kh580自身也產(chǎn)生縮合反應,要影響到計算用量的準確性,硅烷偶聯(lián)劑kh580,所以要增加一定的加入量。
硅烷偶聯(lián)劑的用量計算關系是:
硅烷偶聯(lián)劑用量(g)=粉體質(zhì)量(g)×粉體表面積(m2/g)/硅烷偶聯(lián)劑的覆蓋面積(m2/g)
功能性硅烷與硅橡膠、硅油及硅樹脂并稱為有機硅材料四大門類;從結構上來說,通常將主鏈為-Si-O-C-結構的有機硅小分子統(tǒng)稱為功能性硅烷,而將主鏈為-Si-O-Si-結構的小分子中間體和聚合物大分子一般稱之為硅氧烷,即硅橡膠、硅油及硅樹脂產(chǎn)品;從功能上來看,功能性硅烷多為雜交結構,多數(shù)產(chǎn)品在同一個分子中同時含極性與非極性兩類官能團,可以作為無機材料和有機材料的界面橋梁或者直接參與有機聚合材料的交聯(lián)反應,從而大幅提高材料性能。
功能性硅烷有下列不同分類方法:按活性有機基團與Si的相對取代位置可分為γ-取代和α-取代兩種類型;按可水解基團官能度分為三官能和雙官能兩種,其中三官能占市場絕大部分;硅烷偶聯(lián)劑kh580按取代基種類分類更多,其中含硫基、氨基類、鏈烯基類、環(huán)氧基類、酰氧基類是國內(nèi)生產(chǎn)和消費較大的品種。按用途可分為偶聯(lián)劑和交聯(lián)劑兩大類。
硅烷品種眾多,其用途主要根據(jù)官能團品種及結構決定,硅烷偶聯(lián)劑kh580主要應用領域包括橡膠、復合材料、塑料、粘合劑等領域,跨度非常廣。硅烷在橡膠中主要指輪胎加工用途,復合材料中主要指對材料中無機材料和有機材料之間進行界面處理用途,粘合劑則主要指室溫硫化硅橡膠使用的交聯(lián)劑以及其他非硅類粘合劑的應用,塑料主要是指聚烯烴加工用途。其他行業(yè)如紡織、涂料、油墨等行業(yè)也有涉足,但受產(chǎn)品質(zhì)量和牌號限制,國產(chǎn)硅烷在這幾個消費領域所占比例較小。
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