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開發(fā)過程中，其驗(yàn)證流程的嚴(yán)格程度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。執(zhí)行的每一個(gè)步驟均經(jīng)過仔細(xì)測(cè)試，包括壽命測(cè)試，沖擊測(cè)試，抗振動(dòng)測(cè)試，包裝測(cè)試，溫度測(cè)試，傅立葉振動(dòng)分析，噪音測(cè)試等。我們對(duì)多種不同設(shè)計(jì)生產(chǎn)了樣泵并進(jìn)行了測(cè)試，這并不局限于幾個(gè)樣品。我們?yōu)榇藢ｉT制造的樣泵多達(dá)1000 余臺(tái)，對(duì)各項(xiàng)結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行了廣泛測(cè)試和分析。在終產(chǎn)品定型時(shí)，VARIAN TV301分子泵銷售公司，僅選用了結(jié)果的結(jié)構(gòu)和方案；

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抽速是分子泵的核心參數(shù)，提高轉(zhuǎn)速是加大抽速為直接的方法之一，隨著動(dòng)平衡技術(shù)的發(fā)展，分子泵轉(zhuǎn)子可順利地在超高轉(zhuǎn)速下穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。隨著材料科學(xué)的發(fā)展，分子泵轉(zhuǎn)子材料也發(fā)生了變化，可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料制成，這使轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速得到進(jìn)一步提高。除此之外，近些年還出現(xiàn)了多種新型分子泵，如可有效抽取水分子的低溫型分子泵，可在強(qiáng)磁場(chǎng)、強(qiáng)腐蝕條件下工作的陶瓷分子泵，以及可實(shí)現(xiàn)無接觸支撐、、高壽命的磁懸浮分子泵等。

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這種分子泵的維護(hù)可具體分為：1）牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子碰撞以獲得動(dòng)量，并被驅(qū)動(dòng)到泵出口。 2）渦輪分子泵通過與高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和固定的固定葉片配合實(shí)現(xiàn)抽氣。 這樣的泵通常以分子流動(dòng)狀態(tài)運(yùn)行。 3）復(fù)合分子泵它是由兩個(gè)渦輪泵和牽引泵串聯(lián)而成的復(fù)合分子真空泵。

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渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴(kuò)散泵高，可達(dá)10^-8pa。正常工作時(shí)需要一定的前級(jí)真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200Pa之間，可采用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，高真空機(jī)組是由分子泵和機(jī)械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速高，通常用中頻電機(jī)帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400Hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。

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應(yīng)用程序提供了對(duì)分子泵的遠(yuǎn)程控制功能，使您可以輕松簡(jiǎn)便的和監(jiān)測(cè)泵的運(yùn)行狀態(tài)，查看泵的參數(shù)和參數(shù)變化曲線，如功率變化曲線，真空度變化曲線（如果安裝有適配的真空計(jì)），這在您設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)或抽氣工藝時(shí)將會(huì)非常有用。您還可以通過該應(yīng)用程序?qū)С鋈罩疚募⒈４嬖谑謾C(jī)上或通過郵件、短信等，與您的同事或安捷倫技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)快速共享泵的信息和日志文件。日志文件可以通過電子表格（excel）程序打開并查看，只需點(diǎn)擊幾下屏幕，就可以方便的進(jìn)行溝通，這避免反復(fù)的詢問和確認(rèn)，開啟了一種全新的交流方式。

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由于渦輪分子泵對(duì)于氣體的壓縮比很好，因此工作時(shí)油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計(jì)。渦輪分子泵的極限真空度能達(dá)到10-8Pa的數(shù)量級(jí)，抽速可以達(dá)到1000L/s，達(dá)到抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間，因此在使用時(shí)要以旋片機(jī)械泵作為其前級(jí)泵。

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