什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

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流量控制器優(yōu)點(diǎn)

熱式質(zhì)量流量器可測(cè)量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。

熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)活動(dòng)部件，無(wú)分流管的熱分布式儀表無(wú)阻流件，渦輪流量計(jì)報(bào)價(jià)，壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測(cè)量管道中置有阻流件，智能電磁流量計(jì)報(bào)價(jià)，但壓力損失也不大。

熱式質(zhì)量流量計(jì)使用性能相對(duì)可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡(jiǎn)單，出現(xiàn)故障概率小。

熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門(mén)標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。

氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。

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流量控制器

怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算？

產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定﹑按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測(cè)量不同的氣體，當(dāng)流量檢測(cè)值相同時(shí)，實(shí)際的流量值可能不同。我們?cè)谡f(shuō)明書(shū)中給出了不同氣體相對(duì)于標(biāo)定氣體（氮?dú)猓┑馁|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。

如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（按氮?dú)鈽?biāo)定顯示），而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量時(shí)，先在產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測(cè)量過(guò)程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量；反之，流量計(jì)報(bào)價(jià)，在確定所購(gòu)產(chǎn)品的量程時(shí)，以實(shí)際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，液體質(zhì)量流量計(jì)報(bào)價(jià)，即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 ， 一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品，不必?fù)Q算。

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