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單晶硅粉供應(yīng)商-浙江單晶硅粉-中興耐材(查看)

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發(fā)布時間:2024-11-12 02:01  





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氧在熱處理中的行為非常復(fù)雜。直拉單晶經(jīng)300~500℃熱處理會產(chǎn)生熱施主,而經(jīng)650℃以上熱處理可除熱施主,同時產(chǎn)生氧沉淀成核中心,在更高溫度下處理會產(chǎn)生氧沉淀,形成層錯和位錯等誘生缺陷,利用這些誘生缺陷能吸收硅中有害金屬雜質(zhì)和過飽和熱點缺陷的特性,發(fā)展成使器件由源區(qū)變成“潔凈區(qū)”的吸除工藝,能提高器件的成品率。





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