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流量控制器
對多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用,但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù),轉(zhuǎn)子流量計(jì)哪里有, 可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,浮子流量計(jì)哪里有,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,超聲波流量計(jì)哪里有,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,吉林流量計(jì)哪里有,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復(fù)性好。
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流量控制器特點(diǎn)
1、 穩(wěn)定的流量供給,不受溫度、壓力變化
2、 寬量程比,可達(dá)100:1
3、 高達(dá)0.1%的重復(fù)性和1.0級的精度等級
4、 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
5、 內(nèi)置70余種氣體,觸屏式直接操作切換,無需重新校準(zhǔn)
6、 標(biāo)配三種顯示方式:數(shù)字、模擬和本地面板
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