1、差壓法氣密性檢測原理：差壓法氣密性檢測是利用氣體流量公式通過測量容器內壓力的變化來計算泄漏量的檢測方法。密閉的容器由于泄漏，必然造成容器內氣體質量的流失，石墨雙極板，使得容器內原有的壓力減低，湖州板，因此可以通過測量容器內氣體壓力降低的數(shù)值計算出實際容器泄漏的氣體量。差壓法氣密性檢測的工作循環(huán)包括4個過程，即充氣過程、平衡過程、檢測過程和排氣過程。(1)充氣過程：將系統(tǒng)壓力調定到測試壓力，打開充氣閥、測漏閥，標準容器和被測工件充入壓力等于測試壓力的壓縮空氣，由于氣體流動的影響，此時系統(tǒng)內部壓力、溫度都會波動，必須持續(xù)充氣直至標準容器、被測工件充氣完全。

嚴格地講，任何真空系統(tǒng)都有漏氣現(xiàn)象存在，漏氣是一定的。針對不同的真空系統(tǒng)，可以容許有一定的漏率。目前的真空技術，可以確保超高真空系統(tǒng)的容許漏率≤1.33×10-11Pa.m3/s。真空檢漏已經(jīng)成為真空系統(tǒng)制作和使用中不可缺少的環(huán)節(jié)。真空檢漏的方法多種多樣，比較具代表性的氦質譜檢漏和四極質譜儀殘留氣體分析。

氦質譜檢漏儀檢漏原理及方式：氦質譜檢漏儀的檢漏方式，金屬雙極板價格，氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。逆擴散原理：逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高，雙極板價格，氦質譜檢漏儀可達300Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下)，適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸檢漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受污染，燈絲壽命長等優(yōu)點。

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