氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理

定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀品牌，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開，避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。②噴吹時，要嚴(yán)格控制氦源的流量，盡量采用噴咀流量小的噴，天津氦質(zhì)譜檢漏儀品牌，提高定位的能力。③儀器的反應(yīng)時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，真空氦質(zhì)譜檢漏儀品牌，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質(zhì)譜檢漏儀主要部件---真空泵的概述與分類

真空泵(vacuum pump)

利用機械、物理、化學(xué)、物理化學(xué)等方法對容器進(jìn)行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設(shè)備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、食品、機械、、航天等部門。

按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。

氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵(水環(huán)真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等

氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。

目前工業(yè)中應(yīng)用較多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。

W型往復(fù)式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工，食品，建材等部門，特別是在真空結(jié)晶，干燥，過濾，蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。

2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機械、電子、化工、石油、等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。

2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀品牌，噪音低，振動小等優(yōu)點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。

XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

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