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真空腔體制造技術(shù)
提供設(shè)備腔的定制服務(wù),腔體的外形和開口可以根據(jù)用戶要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。
表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進(jìn)行自定義設(shè)計(jì)。
手套箱和焊接箱于熔煉或焊接鈦、鋅等對(duì)易在大氣中氧化的材料。
真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件,它可以提供額外的高度和更多的自由端口。
裝載鎖定室是建在主腔體上的小腔體,可在不破壞主腔體真空度的條件下,非標(biāo)真空腔體加工品牌,將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環(huán)境移動(dòng)到內(nèi)部高真空環(huán)境中。
表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進(jìn)行自定義設(shè)計(jì)。
真空腔體可以按照真空度進(jìn)行分類,包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr),大型真空腔體加工品牌,中真空度(< 1, >10-3 torr),高真空度(< 10-3,半導(dǎo)體真空腔體加工品牌, >10-8 torr),超高真空度(< 10-8 torr),天津真空腔體加工品牌,以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規(guī)尺寸是非常重要的參數(shù)。標(biāo)準(zhǔn)鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。
真空腔體或者真空組件的可選項(xiàng)包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導(dǎo)口,加熱器和冷卻方式等。
Ferrotec在真空中制造中的解決方案
使用磁流體密封件作為在旋轉(zhuǎn)過程中真空解決方案。磁流體密封件可以隔絕大氣和污染物。
制備的石英用來制造視口及配件等組件,石英在許多其他加工工藝中也有使用。
真空鍍膜可選Ferrotec的PVD電子束蒸發(fā)系統(tǒng)。
如需了解更多真空環(huán)境下的制造信息,請(qǐng)參考真空工業(yè)界的資料。
復(fù)雜的真空腔體通常需要定制,即針對(duì)應(yīng)用終端進(jìn)行專門的設(shè)計(jì)和制作。某些常見的真空腔體已經(jīng)過預(yù)先設(shè)計(jì),如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境,可用于焊接,或用于塑料制品、復(fù)合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。
真空腔體
真空腔體的內(nèi)壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機(jī)物,成為影響真空度的放氣源。為實(shí)現(xiàn)超高真空,要對(duì)腔體進(jìn)行150—250℃的高溫烘烤,以促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟(jì)簡(jiǎn)單的烘烤方法是使用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,防止熱量散失的同時(shí)也可使腔體均勻受熱。
影響真空絕緣水平的主要因素
真空度
顯現(xiàn)了空隙擊穿電壓和氣體壓強(qiáng)之間的關(guān)系。由圖可以看到真空度高于10-2Pa時(shí),擊穿電壓基本上不再跟著氣體壓力的下降而增大,因?yàn)闅怏w分子碰撞游離現(xiàn)象已不復(fù)興效果。當(dāng)氣體壓力從10-2Pa逐步升高時(shí)(真空度下降),擊穿強(qiáng)度逐步下降,以后又隨氣壓的而。從曲線上可以看出真空度高于10-2Pa時(shí)其耐壓強(qiáng)度基本上堅(jiān)持不變。這就標(biāo)明,真空滅弧室的真空度在10-2Pa以上時(shí)完全可以滿足正常的運(yùn)用需求。
企業(yè): 北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
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