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廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái)，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造高品質(zhì)的公益性、開(kāi)放性、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專(zhuān)業(yè)人才
廣東低線寬光刻 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
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云南光刻加工廠 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
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四川半導(dǎo)體光刻 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
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安徽低線寬光刻 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
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