由于對零件形位公差的測量方式可以靈活多變，零件形狀不同測量方式就有一定的差異，但是無論什么形狀的零件都需要確定一個(gè)測量基準(zhǔn)，在統(tǒng)一的基準(zhǔn)上對零件進(jìn)行測量。對于平面度、位置度、垂直度、平行度及其他形位公差測量，能夠使用三坐標(biāo)測量的，優(yōu)先使用三坐標(biāo)進(jìn)行測量。

零件表面粗糙度測量

零件表面粗糙度測量時(shí)，采用粗糙度測量儀進(jìn)行測量。

零件硬度測量

對金屬件表面硬度的測量，應(yīng)使用洛氏硬度計(jì)進(jìn)行測量；橡膠件硬度采用邵氏硬度計(jì)進(jìn)行測量。

作為測量被測量物的內(nèi)徑的裝置，有被稱作孔徑測量器的內(nèi)徑測量器。該內(nèi)徑測量器包括主體、具有與該主體螺紋配合的螺紋部且沿軸向進(jìn)退的測桿、設(shè)置于主體且沿與測桿的軸向大致正交的方向進(jìn)退的多個(gè)測量觸頭、和設(shè)置在這些測量觸頭與測桿之間且隨著測桿的軸向的進(jìn)退使測量觸頭沿與測桿的軸向大致正交的方向進(jìn)退的圓錐構(gòu)件。在該內(nèi)徑測量器中，設(shè)置于測桿的螺紋部的導(dǎo)程為 0.5mm，而且為了使測量觸頭的移動量與測桿的進(jìn)退量相等，圓錐構(gòu)件的圓錐角 α 通常為大致 53 度。即，( 一個(gè)測量觸頭的移動量 ) ＝ ( 測桿的進(jìn)退量 )×tan(α×1/2)，由于 tan(53×1/2) ≈ 0.5，因此，通過使圓錐角 α 為大致 53 度，測量觸頭的移動量 ( 多個(gè)測量觸頭中的兩個(gè)測量觸頭的移動量的合計(jì) ) 與測桿的進(jìn)退量相等。在這樣的內(nèi)徑測量器中，由于測桿的螺紋部的導(dǎo)程為 0.5mm，因此，測量者在測量很多的大小各異的被測量物時(shí)，為了使測量觸頭進(jìn)退而需要使測桿的螺紋部旋轉(zhuǎn)許多圈，存在操作性及作業(yè)效率較差這樣的問題。