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不積累:不在潔凈車間積累任何灰塵。
遵循這個原則,潔凈車間設(shè)計時,應(yīng)注意如下幾個方面:
1、墻角設(shè)計成圓弧形,避免灰塵積累,如果是平直形,不但容易積累灰塵,而且清潔很難。
2、 潔凈車間應(yīng)盡量不暴露風(fēng)管與管道。
3、 制定清潔管理制度,定期的清潔潔凈車間,定期維護潔凈空調(diào)系統(tǒng),避免積塵。
要去塵:快速去除潔凈車間內(nèi)灰塵。
1、在靠近灰塵產(chǎn)塵的地方設(shè)置排氣裝置。
2、增加換氣次數(shù)。
3、采用合適的氣流形式和室內(nèi)布局,避免灰塵站在產(chǎn)品上。
高水平的安徽潔凈車間凈化生產(chǎn)工藝對潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境要求非常嚴(yán)格。電子廠特別是微電子和光電行業(yè)的電子廠,對大面積云南潔凈車間凈化的生產(chǎn)環(huán)境要求不僅是:建筑圍護結(jié)構(gòu)、結(jié)構(gòu)、空氣、水、氣、溶劑等原料,而且還要有聲、光、電、磁、振等環(huán)境。如:建筑形式、承重高度、圍護結(jié)構(gòu)等裝飾材料;空氣清潔度、溫濕度、靜壓;水、氣的純度和重金屬含量以及噪聲、光照、靜電、電磁波、微振動等。凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。
凈化車間門檻部位又須根據(jù)運輸與人行等不同要求作特殊構(gòu)造處理。一捏單扇平開凈化車間門的四邊縫隙中倒有三邊需作不同的處理,而且雙扇凈化車間門的中縫也是特殊構(gòu)造。所以在凈化車間門的設(shè)計中對于活動縫隙的密封處理是更為突出的問題。開啟扇與框料相互搭接的槽口尺寸與槽口形式問題,是活動縫隙密封設(shè)計小必須注意的重要問題。村局、框、五金、密閉條及其作用方式等四個方面因素要綜合考慮,使它們在構(gòu)造亡和受力狀態(tài)上相互協(xié)調(diào),達到密封的目的。應(yīng)該特別指出,凈化車間門扇比窗扇大而且重,密封壓緊時施力要大得多,特別平時總在不斷啟閉旋轉(zhuǎn),故還須從控制凈化車間門扇下垂和保證凈化車間門扇剛度等方面來著重考慮五金選用問題。非工作時間,送風(fēng)機、回風(fēng)機均停止運行,為了使系統(tǒng)停止運行后,避免室外污染空氣通過安徽車間凈化的圍護結(jié)構(gòu)縫隙和由新風(fēng)口經(jīng)回風(fēng)道進入安徽車間凈化,破壞室內(nèi)的潔凈度而設(shè)置值班風(fēng)機。
10萬級無塵車間的潔凈標(biāo)準(zhǔn)1、塵粒很大允許數(shù)(每立方米)。
2、大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過3500000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過20000個。
3、微生物很大允許數(shù)。
4、浮游菌數(shù)不得超過500個每立方米。
5、沉隆菌數(shù)不得超過10個每培養(yǎng)皿。
6、壓差:相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。