PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)介紹

PLD是將脈沖激光透過合成石英窗導入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上，靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài)，然后被堆積到設(shè)在對面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學理論上準穩(wěn)定狀態(tài)的組成和構(gòu)造的人工合成新材料。

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脈沖激光沉積發(fā)展前景

由脈沖激光沉積技術(shù)的原理、特點可知，它是一種極具發(fā)展?jié)摿Φ谋∧ぶ苽浼夹g(shù)。連續(xù)激光：纖綠激光激光泵浦源持續(xù)提供能量，長時間地產(chǎn)生激光輸出，從而得到連續(xù)激光。隨著輔助設(shè)備和工藝的進一步優(yōu)化，將在半導體薄膜、超晶格、超導、生物涂層等功能薄膜的制備方面發(fā)揮重要的作用；并能加快薄膜生長機理的研究和提高薄膜的應用水平，加速材料科學和凝聚態(tài)物理學的研究進程。同時也為新型薄膜的制備提供了一種行之有效的方法。

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脈沖激光沉積設(shè)備介紹

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是比較理想的薄膜與涂層合成設(shè)備。只要凝結(jié)率比受濺射粒子的釋放率高，熱平衡狀況便能夠快速達到，由於熔化粒子流減弱，膜便能在基片表面生成?？芍苽涞谋∧ぐǖ?、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關(guān)系統(tǒng)配件，例如基片加熱裝置、原位監(jiān)測工具。此外，BlueWave還為您提供標準的薄膜以及材料涂層，例如氧化物涂層、導電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。