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一六儀器 專業(yè)測厚儀 多道脈沖分析采集,先進(jìn)EFP算法 X射線熒光鍍層測厚儀
應(yīng)用于電子元器件,LED和照明,家用電器,通訊,汽車電子領(lǐng)域.EFP算法結(jié)合精準(zhǔn)定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題
上照式:通常都有Z軸可移動,所以可對形狀復(fù)雜的樣品(如凹面內(nèi))做定位并且測試,一般可定位到2mm以內(nèi)的深度,如Thick800A,另外有些廠商在此基礎(chǔ)上配備了可變焦裝置,搭配先進(jìn)的算法,可定位到80mm以內(nèi)的深度,如XDL237
下照式:通常都沒有Z軸可移動,所以不可對凹面等無法直接接觸測試窗口的位置進(jìn)行定位并測試,但操作簡單,造價相對低;部分廠商或款式儀器搭載變焦裝置也可測試復(fù)雜形狀樣品,同時也抬高了價格
鍍層厚度分析儀的測量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測量法,稱重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測量法及渦流測量法等等。這些方法中前五種是有損檢測,測量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗。
X射線和β射線法是無接觸無損測量,測量范圍較小,X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆
層測厚時采用。
X-RAY測厚儀特點
1,價格高,機(jī)種不同,價格在10萬~100萬左右,可測試P(磷)~U(鈾),并且支持Rohs及元素分析功能等。
2,無損檢測,Windows操作系統(tǒng),使用簡便。操作快速,能適應(yīng)多類鍍層,大量檢測,但體積較大,計算機(jī)除外約100000cm2,50000g左右。
3,測量厚度范圍較廣,
0.002um~100um左右,能測試5層以上膜厚,并且可以測量合金鍍層,也可分析鍍層元素和含量比。
4,測量精度高,1%左右,分辨率高,0.001um左右。
5,測頭的面積較小,對需測的樣品要求不高:0.1mmψ以下也可測量,基材厚度無要求。
6,可編程XYZ測量臺及大移動范圍。