潔凈室具有風(fēng)量大，空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)壓高，運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)等特點(diǎn)，故其能耗比一般建筑為大。因此，在設(shè)計(jì)中應(yīng)考慮節(jié)能措施。一、能耗特點(diǎn)國(guó)外對(duì)普通辦公樓與一般潔凈廠房的風(fēng)量作比較，其大致數(shù)值見表27.10-1。普通民用空調(diào)（如辦公樓、旅館）單位建筑面積的冷負(fù)荷在100~130w，而半導(dǎo)體廠房的冷負(fù)荷可能高達(dá)500~1000w/㎡。從符合因數(shù)來看：微電子生產(chǎn)車間的空調(diào)能耗中工藝而設(shè)備負(fù)荷、輸送負(fù)荷以及新風(fēng)負(fù)荷主體，一般均占90％以上，圖27.10-1為某芯片（φ300mm）生產(chǎn)廠房冷負(fù)荷的成分組成。表27.10-2還給出了不同級(jí)別潔凈室的負(fù)荷組成供參考。另一個(gè)特點(diǎn)是：從全年來看所有季節(jié)均存在冷卻負(fù)荷，即其供冷季節(jié)長(zhǎng)，這也是從整體上講其能耗大的原因。圖27.10-2即芯片生產(chǎn)廠房前工藝車間全年冷負(fù)荷一例。

無塵室（CleanRoom），也稱為潔凈室。潔凈室是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計(jì)需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)的房間。不論外面空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。無塵室的污染來源污染源主要有四種：人員、空氣、表面、產(chǎn)品。人員的主要污染源主要來自于人體外細(xì)胞的正常脫落和著裝，另外人的嘴和鼻子也能污染空氣，說話、咳嗽、打噴嚏也能產(chǎn)生大量的微生物粒子，也是污染的關(guān)鍵。

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其次，要確保凈化手術(shù)室內(nèi)的空氣都經(jīng)過過濾、再循環(huán)（continue)和保鮮處理，這就牽涉到凈化手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與安裝的工程質(zhì)量考核，進(jìn)行這一環(huán)節(jié)的驗(yàn)收需要具備專業(yè)的空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與安裝專業(yè)經(jīng)驗(yàn)（experience)。