氣體管道安裝

聯(lián)接方法

管子、管子聯(lián)接件、閥門(mén)和設(shè)備上的進(jìn)出接管間的聯(lián)接方法，由氣體的性質(zhì)、壓力和溫度以及管子的材質(zhì)、尺寸和安裝場(chǎng)所等因素決定，主要有螺紋聯(lián)接、法蘭聯(lián)接、承插聯(lián)接和焊接等四種方法。

螺紋聯(lián)接

主要適用于小直徑管道。聯(lián)接時(shí)，一般要在螺紋聯(lián)接部分纏上氟塑料密封帶，或涂上厚漆、繞上麻絲等密封材料，以防止泄漏。在1.6兆帕以上壓力時(shí)，一般在管子端面加墊片密封。這種聯(lián)接方法簡(jiǎn)單，可以拆卸重裝，但須在管道的適當(dāng)?shù)胤桨惭b活接頭，以便于拆裝。⑦閥門(mén)和附件的材質(zhì)：對(duì)氫氣和煤氣管道不得采用銅質(zhì)材料，其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。

實(shí)驗(yàn)室氣體管道供氣系統(tǒng)

實(shí)驗(yàn)室氣路安裝指實(shí)驗(yàn)室氣體工程，即從氣瓶至儀器終端之間連接管線，JHP一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門(mén)-管線-過(guò)濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成。目前主流氣路編排主要為實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)。

公司提供全i方位的實(shí)驗(yàn)室氣體管道供氣系統(tǒng)，滿足不同實(shí)驗(yàn)的用氣要求與安全。采用匯流排供氣設(shè)備，進(jìn)行雙瓶帶手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)切換功能，帶有低壓報(bào)警裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)控氣體壓力，濃度偵測(cè)報(bào)警和排風(fēng)，保證客戶正常用氣需求和生命財(cái)產(chǎn)安全。

高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。4、所有管路在天花板下面布設(shè)，并通過(guò)功能柱到中央臺(tái)，邊臺(tái)的氣體管路隱藏在實(shí)驗(yàn)工作臺(tái)后面服務(wù)通道內(nèi)。

3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4.管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置、用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。

5.對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

6.為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

7.在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端氣體過(guò)濾器。

實(shí)驗(yàn)室氣體的供氣方式

　　采用中壓供氣，二級(jí)減壓的供氣方式，氣瓶氣體壓力為12.5MPa,經(jīng)一級(jí)減壓后為1MPa（管路壓力1MPa），送至用氣點(diǎn)，經(jīng)二級(jí)減壓后為0.3——0.5 MPa（根據(jù)儀器需求）送至儀器，供氣壓力比較穩(wěn)定。

　　實(shí)驗(yàn)室氣體管道的材質(zhì)要求

　?。?）對(duì)所有氣體無(wú)滲透性

　　（2）吸附效應(yīng)很少

　?。?）對(duì)所輸送的氣體呈化學(xué)惰性

　　（4）能快速使輸送的氣體達(dá)到平衡

　　注：化學(xué)物質(zhì)腐蝕影響等級(jí) A—沒(méi)有影響 B—輕微影響 C—中度影響 D—嚴(yán)重影響

　　316不銹鋼是繼304不銹鋼之后，第二個(gè)得到廣泛應(yīng)用的鋼種，具有較好的耐腐蝕性，耐高溫，強(qiáng)度優(yōu)i秀等特點(diǎn)，所以我們一直用    316無(wú)縫不銹鋼管。