廢氣處理設備在工作過程中是始末設備的差異裝置之間的相互作用完成廢氣處理的。廢氣處理設備的重點裝置包含下面幾種：

有機廢氣的燃燒設備。用適量的空氣將廢氣中的雜質(zhì)進行燃燒，發(fā)生大量的二氧化碳和水蒸氣，如此便不妨處理了擁有高濃度的VOCs氣體的處理問題。

吸附裝置。進入到處理設備的某些氣領會因特定的成分被附著在設備的內(nèi)部，始末吸附的重復作用，完成廢氣在設備中的重復再生，并抵達消除廢氣中傳然物并接管管中有用氣體的過程。

接管裝置。接管裝置主若是靠廢氣與VOCs之間的不溶解性完成廢氣的摒除。首先，含有的氣體進入到廢氣處理設備的內(nèi)部，在廢氣回升的過程中與已有的氣體接觸，始末VOCs的不溶解性，將廢氣從廢氣處理設備的頂部摒除。

光催化設備。光催化設備可將有機物轉(zhuǎn)化成無毒亥產(chǎn)物。將半導體用作為光催化劑，獲取天然的光能，對廢氣處理設備中的廢氣進行光能的處理，對可用資源進行循環(huán)，無用的廢氣始末光能的處理后降低了污染并排入到空氣中。

一般地，單臺羅茨真空泵的壓縮比較小，為了使羅茨真空機組能達到更高的真空度和更大的抽氣速率，便采用多臺羅茨真空泵與前級泵串聯(lián)組成羅茨真空機組來滿足高真空的要求， 那么，羅茨真空機組如何選型呢？

羅茨泵真空機組的羅茨泵與前級泵的抽速比的選擇是很重要的。因為羅菠泵的壓縮比很有限。這一壓縮比決定著前級泵的容越，因壓縮比是兩者抽速的反比。一般壓縮比在2~10內(nèi)選取。另外應當考慮對預抽時問的要求。真空設備是作為輔助設備應用于各種機械設備中的.如果正常工作時間遠比預抽時間，可選較小的前級泵(壓縮比可大些)，若真空窒較大.而且要求很快預抽，就用較大的前級泵。有時為了更好地發(fā)揮設備的效率，機組前裝有一臺較大的預抽泵，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持，這樣做是為了節(jié)約功率。 

如今，工業(yè)制造領域種類繁多，生產(chǎn)制造過程中排入空氣中的污染物氣體種類繁多，需要針對不同類型的廢氣進行廢氣處理，目前廢氣處理工藝主要有：隔離法、燃燒法、吸收法、冷凝法、等離子低溫催化氧化法、吸附法等。那么，針對這些廢氣處理工藝的優(yōu)缺點是什么？

1、廢氣處理冷凝法：通過冷凝降溫，當溫度低于有害物質(zhì)的凝結點時，氣態(tài)的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為液態(tài)，從空氣中分離出來，從而凈化。

優(yōu)點：運行穩(wěn)定，凈化效率1高。

缺點：投資較大，對環(huán)境及操作人員要求較高，且能耗過大，運行費用高。

2、等離子廢氣處理低溫催化氧化法：等離子體是物質(zhì)存在的除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種狀態(tài)，具有宏觀度內(nèi)的電中性與高導電性。等離子體中含有大量的活性電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撣的結果，產(chǎn)生大量的強氧化性自由基O·、OH·、HO2

和氧化性很強的O3;有機物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子健斷裂而形成小碎片基團或原子;O·、OH·、HO2、O3等與激發(fā)原子、有機物分子、基團、自由基等反應，終使有機物分子氧化降解為CO、CO2和HO2。

優(yōu)點：廣泛適用性，適合于處理低濃度(〈1～1000ppm〉)、劇臭的有害氣體，彌補了其他技術無法處理的空白。以及操作簡單。

缺點：單獨的低溫等離子體技術在處理有害氣體時還是有其欠缺的地方，如不能完全地把有害氣體轉(zhuǎn)化為無害氣體，副產(chǎn)物較多;且在氧等離子體下產(chǎn)生大量的臭氧;能耗較高;脫除效率較低等。

3、廢氣處理活性炭吸附裝置吸附法：利用多孔性的活性炭、硅澡土、無煙煤等分子級的大表面剩余能，將有機氣體分子吸附到其表面，從而凈化。

優(yōu)點：處理效率1高(活性炭吸附可達99%以上)，適用廣泛，操作簡單，投資費用低，運行費用相對較低。

缺點：系統(tǒng)風壓損失大，吸附劑的飽和點難掌握，吸附劑容量有限。

催化燃燒法，簡稱RCO，是在催化劑的作用下，將VOCs在200～400℃的低溫條件下分解為CO2和H2O，是凈化碳氫化合物等有機廢氣、消除惡臭的有效手段之一。在有機廢氣特別是回收價值不大的有機廢氣凈化方面，比如化工、噴漆、絕緣材料、漆包線、涂料生產(chǎn)等行業(yè)應用較廣。

催化燃燒是典型的氣-固相催化反應，其實質(zhì)是活性氧參與的深度氧化作用。在催化燃燒過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物分子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發(fā)生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有害物的方法。在將廢氣進行催化燃燒的過程中，廢氣經(jīng)管道由風機送入熱交換器，將廢氣加熱到催化燃燒所需要的起燃溫度，再通過催化劑床層使之燃燒，由于催化劑的存在，催化燃燒的起燃溫度約為250-300℃，大大低于直接燃燒法的燃燒溫度650-800℃，因此能耗遠比直接燃燒法為低。