無(wú)塵凈化廠房是以具有潔凈室和潔凈區(qū)作為重要標(biāo)志的生產(chǎn)廠房。根據(jù)《潔凈廠房沒(méi)計(jì)規(guī)范》GB50073中定義：潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間；潔凈區(qū)是指空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。根據(jù)多年經(jīng)驗(yàn)各種不同的加濕器的應(yīng)用范圍不同：如：淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器，其特點(diǎn)是加濕量大、投資費(fèi)用低，而相對(duì)濕度控制精度較差，因此多用于相對(duì)濕度要求不嚴(yán)格（>。潔凈室和潔凈區(qū)的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)或區(qū)域空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

    潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式也可以是封閉式。潔凈室的分類(lèi)方法很多，但的是按潔凈室的氣流流型和潔凈室的使用性質(zhì)來(lái)進(jìn)行分類(lèi)。

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點(diǎn)

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同，它首先對(duì)控制區(qū)的潔凈度有很高要求。凈化設(shè)備主要有凈化工作臺(tái)、自?xún)羝?、高效過(guò)濾器、通風(fēng)柜、生物安全柜、各種風(fēng)淋室和潔凈傳遞窗等。導(dǎo)體器件廠房?jī)?nèi)，在硅襯底上只要落有電路線寬1/10～1/3大小的塵埃，就可能導(dǎo)致芯片電路短路。如今，半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展突飛猛進(jìn)，近英特爾公司更是推出了采用32

nm線寬的處理器芯片，把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對(duì)潔凈度要求較高外，還對(duì)溫度、濕度、震動(dòng)、噪音等都有不同程度要求。

 同時(shí)，由于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)，要求潔凈廠房?jī)?nèi)全天（24h)保持相應(yīng)的潔凈度，目此，潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風(fēng)系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應(yīng)的輸送系統(tǒng)需每天24

h運(yùn)行，這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運(yùn)行時(shí)間的增長(zhǎng)也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。

凈化車(chē)間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。進(jìn)度的計(jì)劃值和實(shí)際值的比較應(yīng)是定量的數(shù)據(jù)比較，比較的成果是進(jìn)度跟蹤和控制報(bào)告如編制進(jìn)度控制的旬、月、季、半年和年度報(bào)告等。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車(chē)間無(wú)塵是必然的要求。

　　每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。但是，對(duì)潔凈室潔凈工程中的氣流速度也是有要求，和單純空調(diào)房間相比，送風(fēng)口的出口處氣流不要太大。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。