利用新納米技術(shù)開發(fā)的功能金屬氧化物薄膜材料（Functional Thin-Film metal-Oxides Materials，具有優(yōu)良的電磁傳導(dǎo)、物理化學(xué)和機(jī)械性能，可廣泛應(yīng)用于節(jié)能照明、顯示電子、化合物檢測(cè)、柔性透明和氣體傳感等領(lǐng)域，具有開啟后硅基半導(dǎo)體電子新時(shí)代的巨大潛力。歐盟第七研發(fā)框架計(jì)劃（FP7）提供980萬歐元資助，總研發(fā)投入1340萬歐元，由歐盟8個(gè)成員國(guó)德國(guó)（總協(xié)調(diào)）、英國(guó)、意大利、比利時(shí)、荷蘭、葡萄牙、希臘和斯洛文尼亞，微納米電子工業(yè)界聯(lián)合科技界組成的歐盟微納米電子技術(shù)平臺(tái)（ORAMA ETP）。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。在建立緊密合作型研發(fā)創(chuàng)新公私伙伴關(guān)系（PPP）的同時(shí)，將長(zhǎng)期致力于功能金屬氧化物薄膜材料的研制開發(fā)及商業(yè)化推廣應(yīng)用?！?

真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 

周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用；而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣，要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。

一、鍍膜作業(yè)步驟:1.鍍膜前洗凈。2.抽檢鏡片外觀確認(rèn)(裂邊,傷痕,不潔)情況,全檢鏡片鎖板情況(鏡片傾斜）。3.確認(rèn)好準(zhǔn)備鍍膜的鏡片(數(shù)量,機(jī)種,面別)并做好相應(yīng)記錄。4.上傘,將鏡片從包裝盒內(nèi)裝到鍍膜機(jī)臺(tái)傘架上(主意帶手套拿取鍍膜板四周,勿碰到鏡片。5.區(qū)分需要鍍膜鏡片種類面別。6.清潔坩堝電子槍周圍用銅刷刷,吸,并添加藥材。7.確認(rèn)晶振片,監(jiān)控片是否OK在新的位置。溶液凝膠法：也稱雙面鍍膜浸漬法，鍍膜方法是將玻璃浸漬在化學(xué)溶液中，在玻璃表面形成一層薄膜，此化學(xué)膜層粘附在玻璃之表面上，膜厚可通過50％的入射線，其余反射掉，吸收光線很少。8.確認(rèn)機(jī)臺(tái)內(nèi)無雜物,后關(guān)門排氣加熱。9.鍍膜選取相應(yīng)的制程。10.人員鍍膜過程中進(jìn)行監(jiān)控。11.下傘，將鍍膜后的鏡片從傘架取下,放入包裝盒。12.抽檢，主要為膜點(diǎn),霧狀,顏色異常,不潔。13.光譜測(cè)量采用奧林巴斯反射測(cè)定儀和U4100分光光度計(jì)。14.傘架每圈抽1PCS共5圈。15.膜強(qiáng)度測(cè)試(采用3M膠帶粘拉膜3次)。16.光譜量測(cè)OK后可送出。

真空鍍膜的方法很多，計(jì)有：(1)真空蒸鍍：將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室，抽空后將膜料加熱到高溫，使蒸氣達(dá)到約13.3Pa而使蒸氣分子飛到基體表面，凝結(jié)而成薄膜。(2)陰極濺射鍍：將需鍍膜的基體放在陰極對(duì)面，把惰性氣體(如)通入已抽空的室內(nèi)，保持壓強(qiáng)約1.33～13.3Pa，然后將陰極接上2000V的直流電源，便激發(fā)輝光放電，帶正電的離子撞擊陰極，使其射出原子，濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體上形成膜。工藝靈活，改變品種方便，可以根據(jù)產(chǎn)品要求靈活地實(shí)現(xiàn)在鋼帶上鍍單面、雙面、單層、多層，可以同時(shí)鍍兩種材料達(dá)到鍍混合膜。(3)化學(xué)氣相沉積：通過熱分解所選定的金屬化合物或有機(jī)化合物，獲得沉積薄膜的過程。(4)離子鍍：實(shí)質(zhì)上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機(jī)結(jié)合，兼有兩者的工藝特點(diǎn)。表6-9列出了各種鍍膜方法的優(yōu)缺點(diǎn)。