無塵室送風(fēng)量計(jì)算主要是指在已知潔凈級別或允許菌濃等條件下計(jì)算風(fēng)量，其步驟是：

正壓無塵室送風(fēng)量QⅠ計(jì)算：

亂流無塵室送風(fēng)量計(jì)算Q1-1亂流無塵室——1000級、10000級、100000級、300000級的無塵室，送風(fēng)量是以換氣次數(shù)為準(zhǔn)來計(jì)算的：QⅠ-1=KV式中：K——換氣次數(shù)；V——無塵室凈體積；N——非單向流無塵室穩(wěn)定含塵濃度；G——無塵室內(nèi)單位體積發(fā)塵量；M——室外空氣含塵濃度；一、按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。S——回風(fēng)量與送風(fēng)量之比；ηH——回風(fēng)通路上過濾器的總效率；ηX——新風(fēng)通路上過濾器的總效率。實(shí)際工程計(jì)算中換氣次數(shù)K很難用以上公式計(jì)算，一般均采用經(jīng)驗(yàn)換氣次數(shù)。在各國的無塵室標(biāo)準(zhǔn)中，相同級別的非單向流無塵室的經(jīng)驗(yàn)換氣次數(shù)并不相同。我國《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

應(yīng)進(jìn)行潔凈室的試驗(yàn)壓差試驗(yàn)，以測試潔凈室（區(qū)域）與周圍環(huán)境之間的靜壓差。靜壓差試驗(yàn)應(yīng)在潔凈室（區(qū)）的風(fēng)速，風(fēng)量和供氣均勻性合格后進(jìn)行。進(jìn)入無塵車間前之注意事項(xiàng)a、任何人進(jìn)入無塵車間工作或參觀，須依規(guī)定換穿無塵衣。要檢查安裝的空氣過濾器的泄漏情況，測試潔凈室（區(qū)域）中空氣過濾器的完整性和安裝質(zhì)量，在安裝的空氣過濾器的上游側(cè)引入測試氣溶膠，并立即在供氣口和過濾器掃描泄漏檢測在設(shè)備周邊，外框和安裝框架之間的密封處進(jìn)行。泄漏測試可以在“空狀態(tài)”或“靜態(tài)”下執(zhí)行。為了確認(rèn)潔凈室（區(qū)域）的氣流模式和氣流方向，在上述檢測達(dá)到要求之后執(zhí)行1氣流模式檢測。

如何使?jié)崈羰腋?jié)能在潔凈室中有許多節(jié)能的地方，如供暖，通風(fēng)和空調(diào)（HVAC），過程冷卻，壓縮空氣和一些其他設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電量超過整個晶圓制造設(shè)施的一半。對于風(fēng)量和風(fēng)速的測試，通過將測試的平均供氣速度乘以供氣橫截面積來確定單向流動潔凈室的空氣供應(yīng)量。大量浪費(fèi)的電力和HVAC容量過剩的原因主要是由于設(shè)備的設(shè)計(jì)和建造的捷徑，盡可能地壓縮初始投資，而不管后期的運(yùn)營成本。的設(shè)計(jì)和的設(shè)備需要大量的前期投資。所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導(dǎo)致工廠性能降低和能源消耗增加。