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誠薄機對晶片誠薄的必要性及作用?
根據(jù)制造工藝的要求來講,目前對晶片的尺寸、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶結(jié)構(gòu)提出了較高的要求,因此,在制造工藝的過程中減薄機對晶片減薄是相對不可缺少的一部分。那么,關(guān)于晶片減薄的必要性及作用具體體現(xiàn)哪些方面呢?
1.提高芯片的散熱性能要求
在集成電路中,由于硅基體材料及互聯(lián)金屬層存在電阻,在電流的作用下,芯片要產(chǎn)生的發(fā)熱現(xiàn)象。而在芯片工作的過程中,由于部分熱量的產(chǎn)生,使得芯片背面產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。芯片熱量逐漸升高,基體層之間的熱差異性加劇,這無疑加大了芯片的內(nèi)應(yīng)力。較大的內(nèi)應(yīng)力使芯片生產(chǎn),這是芯片損壞的主要原因之一。因此,只有通過減薄機對晶片背面進行減薄,才可以降低芯片熱阻,有效提高芯片的散熱性能,從而降低了芯片破損的風險,提高了集成電路的可靠性。2.集成電路制造工藝要求
通過對晶片減薄工藝后,使其更加有利芯片分離,在一定程度上提高了劃片的質(zhì)量以及成品率。在許多集成電路制造領(lǐng)域內(nèi),大家對集成電路芯片超薄化的要求是越來越高,要想得到高質(zhì)量的超薄芯片,我們就必須通過晶片減薄工藝的方式從而獲取。
通過以上兩點可以得出,只有通過減薄機對晶片減薄,才能更好的保證芯片的厚度及尺寸等方面的要求,這也足夠充分的體現(xiàn)了晶片減薄工藝的重要性。
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減薄機設(shè)備組成
北京凱碩恒盛科技有限公司主營項目:雙面研磨機,內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機,軸承磨加設(shè)備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。
減薄機本設(shè)備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍寶石、其他半導體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤,吸盤主軸及驅(qū)動器組件,砂輪,砂輪主軸及驅(qū)動組件,絲桿導軌進給組件及其他輔助配件構(gòu)成。
硅片減薄機
主要用途:
非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產(chǎn)品。如: LED藍寶石襯底、光學玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片等各種材料的快速減薄。
工作原理:
1.本系列橫向研磨機為精密磨削設(shè)備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損,而且磨削均勻生產(chǎn)。
點:
1.可使工件加工厚度減薄到0. 02m厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在 0.002m范圍內(nèi)。
2.減薄; LED藍寶石襯底每分鐘可減薄48um o硅片每分鐘可減薄250um o
3.系列研磨機采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
立式減薄機IVG-200S設(shè)備特點
1.操作簡單
該設(shè)備采用PLC控制系統(tǒng),通過簡單的培訓,操作者即可在液晶顯示屏友好界面的引導下,熟練操作設(shè)備。當設(shè)備出現(xiàn)故障時, 屏幕向?qū)崾境鲥e編碼,易于排除故障。
2.設(shè)計安全
該設(shè)備的設(shè)計處處為使用者的安全著想,保證操作加工的安全。
3.保證精度
磨盤的進給采用微米步進電機進給系統(tǒng),保證長時間的加工精度。
4.各輪獨立驅(qū)動
磨盤及工件盤均采用獨立的電機,分別采用變頻或伺服控制,轉(zhuǎn)速可任意調(diào)整,且控制簡便。
5.冷卻水循環(huán)使用
冷卻水箱配有雜質(zhì)過濾系統(tǒng),冷卻水可循環(huán)使用,即節(jié)約成本,又減少了對環(huán)境的環(huán)境。一臺冷卻水箱可同時連接多臺設(shè)備。