三維形貌測(cè)量?jī)x是目前國(guó)內(nèi)外追捧使用的非接觸式測(cè)量設(shè)備，其采用國(guó)l際先進(jìn)的外插式多頻相移技術(shù)、相位測(cè)量技術(shù)和計(jì)算機(jī)視覺(jué)技術(shù)，其測(cè)量過(guò)程是：成功標(biāo)定設(shè)備后，將光柵投影裝置投影到被測(cè)物上，同時(shí)兩個(gè)成一定角度的攝像機(jī)同步采集光柵投射后的被測(cè)物，然后再軟件里面對(duì)圖像進(jìn)行解l碼和相位解包裹計(jì)算，并根據(jù)立體匹配技術(shù)和三角測(cè)量技術(shù)，解算出攝像機(jī)公共視區(qū)內(nèi)像素點(diǎn)的三維坐標(biāo)


一、三維表面形貌儀測(cè)量原理：低相干白光同時(shí)照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測(cè)器接收，由于探測(cè)器直接與信號(hào)處理芯片（Smart Pixel技術(shù)）連接，所以陣列上每個(gè)像素點(diǎn)的信號(hào)都在芯片中完成鎖相放大，背景信號(hào)補(bǔ)償和結(jié)果計(jì)算輸出，成像于計(jì)算機(jī)就實(shí)現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測(cè)量。    二、三維表面形貌儀技術(shù)特點(diǎn)：    1、每秒一百萬(wàn)張二維圖像    2、無(wú)損表面形貌檢測(cè)和分析    3、高精度在線/離線檢測(cè)    4、模塊化設(shè)計(jì)，超高集成靈活性    5、無(wú)需苛刻的工作環(huán)境（振動(dòng)，噪聲，溫度等）    6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域


三維表面形貌儀應(yīng)用領(lǐng)域：      工業(yè)：   食品安全在線檢測(cè)   微電子集成電路表面形貌在線檢測(cè)   印刷電路板品質(zhì)檢測(cè)   零件器件表面劃痕損傷檢測(cè)   微機(jī)械精加工質(zhì)量控制，如鐘表，微機(jī)械器件等   電子產(chǎn)品零件在線監(jiān)控，如手機(jī)，筆記本電腦，平板等   微流體器件三維形貌檢測(cè)   在線檢測(cè)設(shè)備集成   證件防偽，安檢    科研：   MEMS器件   微機(jī)械零件表面形貌觀察和測(cè)量   微光學(xué)器件（太赫茲、紅外、微波、天線陣列）三維形貌表征   生命科學(xué)：生物組織/生物體的 三維形貌測(cè)量   偵l查取證：表面劃痕觀察，微小證據(jù)三維形貌快速表征